[实用新型]一种新型吸气剂测试系统

说明书

本实用新型涉及吸气剂测试技术领域，提供一种新型吸气剂测试系统，包括吸气剂样品室以及用于测试的抽真空模块、烘烤模块、加热激活模块、氢气控制模块和真空度测量模块；采用毛细管一端与吸气剂样品室直连的方式，在吸气剂样品加热激活后，控制氢气直接、匀速通过毛细管进入吸气剂样品室，跳过了现有技术中需要先往另一腔室通气再通过稳压的方式使氢气经过毛细管进入样品室的环节，不仅实现了对吸气速率和吸气量的测定，还解决了当前设备较为复杂导致的操作故障率高的问题，为评价吸气剂的能力提供了参数，同时大大简化了系统结构，使得操作上变得非常方便，且不容易出现故障。

技术领域

本实用新型涉及吸气剂测试技术领域，尤其是涉及对吸气剂的测试和评价，具体地，是涉及一种新型吸气剂测试系统。

背景技术

吸气剂是真空和气体纯化领域常用的材料，吸气剂广泛应用于真空电子器件中，为真空电子器件创造了良好的工作环境，稳定了真空电子器件的特性参量，对真空电子器件的性能及使用寿命有重要的影响。其中，针对吸气剂的测试能够评价各种材料所做成的吸气剂的好坏优劣，它能直观的给出吸气速率和吸气量两个参数，是衡量其性能最重要的手段。通常吸气剂测试系统是通过抽真空、烘烤除气后，对吸气剂进行加热激活，随后关闭真空挡板阀对样品室通入一微弱匀速的氢气流，一段时间后样品室内的真空度会上升，通过计算这个过程中的时间，可以用时间来表征吸气速率并计算出总的吸气量。

现有技术中的吸气剂测试系统较为复杂，在样品室对称的位置上有一个体积相同的腔室，并且两个腔室之间连接有两个真空挡板阀和一个毛细管，在做吸气剂测试时，需要对另一腔室通氢气，然后通过毛细管进气到样品室。这种方法能够实现吸气剂的测试评价，但是该系统需要三路真空计，并要事先对两个腔室的真空计进行标定，此外它多出来的部分即增加了成本又存在漏气的风险。

现有技术中的吸气剂测试系统中，关键因素是样品室的漏率要极低，在此基础上的关键因素是毛细管，它由不锈钢做成，管道直径只有0.3mm，它的作用是在吸气剂样品被激活后，能够缓慢的让吸气剂吸入氢气气体，以便于人们能够观察到这个现象的全过程。但是现有的技术中由于增加了真空挡板阀和腔室，导致漏气的风险上升，如果其漏率加在一起比毛细管的流导更大，那么吸气剂会在极短的时间内饱和掉，也就无法观察到这个过程，从而得不到吸气速率和吸气量这两个参数。

而且，在传统的吸气剂测试方法中，为了计算吸气速率，需要稳住样品室内的真空度，现有技术中为了进行测试，还需要一套额外的自动稳压系统，这无疑增加了系统的复杂性，而一旦真空度稳不住的话，则一次测试就要作废。

实用新型内容

为了克服传统吸气剂测试系统的不足，本实用新型的目的是提供一种新型吸气剂测试系统，采用直接往样品室匀速通氢气的方法，在吸气剂样品被激活后，只通入一微弱的固定气体流量，一段时间后，由于吸气剂接近饱和，吸气能力会降低，这样样品室内的真空度会升高，此时可以得到一个时间值，可以用它来衡量吸气速率，通过时间和匀速流量可以计算出吸气量，从而实现吸气剂的测试评价。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下的技术方案：

第一方面，本实用新型提供了一种新型吸气剂测试系统，包括吸气剂样品室以及用于测试的抽真空模块、烘烤模块、加热激活模块、氢气控制模块和真空度测量模块；所述吸气剂样品室用于测试样品的放置，所述吸气剂样品室通过管道连接进行抽真空的抽真空模块，所述烘烤模块用于罩设在吸气剂样品室外部进行加热除气，所述加热激活模块设置于吸气剂样品室内用于加热激活测试样品，所述氢气控制模块用于控制进入吸气剂样品室内的氢气流速，真空度测量模块用于测量吸气剂样品室以及抽真空模块的真空度。

作为本实用新型的进一步方案，所述抽真空模块包括旋片机械泵、真空压差阀、复合分子泵、真空挡板阀以及抽真空管道组成，所述旋片机械泵、真空压差阀、复合分子泵、真空挡板阀通过抽真空管道依次串联并与所述吸气剂样品室连通。