[实用新型]一种倒装贴片机基板自动清洁装置

说明书

本实用新型提供一种倒装贴片机基板自动清洁装置，包括气体阀门，气体阀门的一端连接气源控制气体的进入，另一端通过管路分别与吹气单元和吸气单元连接；吹气单元的出气端上通过管路与清洁头的吹气进气口连接；吸气单元的一端入气口连接在气体阀门上，另一端通过管路连接在清洁头的真空吸气口上，吸气单元的出气口远离清洁头设置，排出倒装贴片机外侧；清洁头设置在基板的正上方，开设有吹气进气口和真空吸气口，真空吸气口位于吹气进气口的两侧布置。本实用新型通过吹气和双侧真空吸尘，以及清洁头布置，提升基板清洁效率和清洁效果，减少基板异物质导致焊接不良发生，避免异物质二次污染。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备领域，尤其是涉及基板清洁技术领域，具体为一种倒装贴片机基板自动清洁装置。

背景技术

倒装贴片机基板的清洁部位，在使用时，通过向基板表面吹气，对基板进行清洁的结构，然而在使用时，存在现有问题：

1)吹气量小，基板表面异物质无法全部吹离，吹气效果差；

2)基板表面吹离的异物质，无法回收，随意散落，存在二次污染风险；

3)吹气装置端口的清洁头设计不合理，采用直吹式，且只有一个出气口，集中出气，与基板的面积、形状不匹配；

4)只有简单的吹气阀门和单一式清洁头的配合，只是一昧的吹气，无法达到自动化控制后的清洁效果。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种倒装贴片机基板自动清洁装置，用于解决现有技术的难点。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种倒装贴片机基板自动清洁装置，包括：

气体阀门1，所述气体阀门1的一端连接气源控制气体的进入，另一端通过管路分别与吹气单元和吸气单元连接；

吹气单元，所述吹气单元的出气端上通过管路与清洁头2的吹气进气口202连接；

吸气单元，所述吸气单元的一端入气口连接在气体阀门1上，另一端通过管路连接在清洁头2的真空吸气口203上，所述吸气单元的出气口远离清洁头2设置，排出倒装贴片机外侧；

清洁头2，所述清洁头2设置在基板的正上方，开设有吹气进气口202和真空吸气口203，所述真空吸气口203位于吹气进气口202的两侧布置。

根据优选方案，气体阀门1入气端的管路直径大于出气端的管路直径。

根据优选方案，吹气单元内沿着吹气的路径依次设置有过滤调节器压力表3、吹气数字流量开关4和脉冲控制单元5，所述过滤调节器压力表3、吹气数字流量开关4和脉冲控制单元5之间通过管路连接。

根据优选方案，吹气单元内管路的直径相同。

根据优选方案，吸气单元内包括：

真空数字流量开关6，所述真空数字流量开关6通过管路连接在清洁头2上控制吸收基板上产生的污染物的流量；

真空喷射器7，所述真空喷射器7的一端连接有真空数字流量开关6，另一端连接有气体阀门1，两者之间均产生通入的气体朝向真空喷射器7底部的排气口输送；

真空过滤器8，所述真空过滤器8的入口连接在真空喷射器7的排气口上对污染物气体进行过滤。

根据优选方案，真空喷射器7和真空过滤器8之间的管路直径大于吸气单元内其余管路之间的直径；

真空喷射器7和真空过滤器8之间的管路直径和两组清洁头2上真空吸气口203的吸气管路直径之和。

根据优选方案，清洁头2包括：