[实用新型]样品保护装置及样品检测装置

说明书

本申请涉及一种样品保护装置，包括保护罩、取样器、检测件和净化机组。取样器的一端位于保护罩内，另一端位于保护罩外。取样器用于将保护罩内的样品输送至保护罩外的分析仪器。检测件位于保护罩内，检测件用于检测保护罩内气体的洁净度。净化机组连通于保护罩并位于保护罩外，净化机组用于净化保护罩内的气体。净化机组响应于检测件的检测信号对自身运行参数进行自动调节。上述样品保护装置通过提高样品所处保护罩内的局部洁净度，实现了样品检出限水平的显著提高，且由于无需提高无尘室的整体洁净度，大幅降低了成本。本实用新型还提供了一种样品检测装置。

技术领域

本申请涉及样品检测技术领域，特别是涉及一种样品保护装置及样品检测装置。

背景技术

随着半导体工艺的发展，芯片的生产制造对于原材料的要求不断提高，例如，超纯水的样品检出限要求由20ng/L提高至5ng/L。相关技术中，通过提高无尘室的整体洁净度来提高样品检出限水平，这种方式所需成本过高且效果不够显著。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种样品保护装置及样品检测装置，能够以低成本的方式显著提高样品检出限水平。

根据本申请的第一方面，本申请实施例提供了一种样品保护装置，包括：

保护罩；

取样器，所述取样器的一端位于所述保护罩内，另一端位于所述保护罩外；所述取样器用于将所述保护罩内的样品输送至所述保护罩外的分析仪器；

检测件，位于所述保护罩内，所述检测件用于检测所述保护罩内气体的洁净度；及

净化机组，连通于所述保护罩并位于所述保护罩外，所述净化机组用于净化所述保护罩内的气体；所述净化机组响应于所述检测件的检测信号对自身运行参数进行自动调节。

在其中一个实施例中，所述净化机组具有第一开口、第二开口以及连通所述第一开口和所述第二开口的风道；

所述第一开口与所述保护罩的内部相连通；

所述净化机组包括位于所述风道内的第一驱动件和过滤件；

所述第一驱动件用于驱动气体经过所述风道，所述过滤件用于过滤经过所述风道的气体中的杂质。

在其中一个实施例中，所述第一驱动件被配置为能够驱动所述保护罩内的气体由所述第一开口进入所述风道，并由所述第二开口排出。

在其中一个实施例中，所述第一驱动件被配置为能够驱动所述保护罩外的气体由所述第二开口进入所述风道，并由所述第一开口进入所述保护罩；

所述保护罩设有通气口，所述通气口用于在所述保护罩外的气体进入所述保护罩时排出所述保护罩内的气体。

在其中一个实施例中，所述第一驱动件具有第一状态和第二状态；所述保护罩设有通气口；

所述第一驱动件处于所述第一状态时，所述通气口关闭，所述保护罩内的气体由所述第一开口进入所述风道，并由所述第二开口排出；

所述第一驱动件处于所述第二状态时，所述保护罩的内部和外部借助所述通气口相连通，所述保护罩外的气体由所述第二开口进入所述风道，并由所述第一开口进入所述保护罩，所述保护罩内的气体由所述通气口排出所述保护罩外。

在其中一个实施例中，所述样品保护装置设有两个所述净化机组，所述保护罩设有通气口；

两个所述净化机组分别为第一净化机组和第二净化机组；所述第一净化机组的所述第一驱动件被配置为能够驱动所述保护罩内的气体由所述第一开口进入所述风道，并由所述第二开口排出；所述第二净化机组的所述第一驱动件被配置为能够驱动所述保护罩外的气体由所述第二开口进入所述风道，并由所述第一开口进入所述保护罩；