[实用新型]一种氟气过滤装置

说明书

本实用新型提供了一种氟气过滤装置，包括支撑箱体，所述支撑箱体左端设置有锥形反应器，所述锥形反应器上表面经输气管与一过滤仓连接，所述锥形反应器左侧面下端连接有出液管，所述支撑箱体上环绕所述锥形反应器等距离设置有用于冷却所述锥形反应器的多根冷凝管，所述支撑箱体右侧上端设置用于储存碱金属氟化物的储存仓，所述储存仓和所述过滤仓经一送料管连接，所述送料管的出料口处设置开合件，所述过滤仓右侧面上端设置有排气管，所述过滤仓下表面的出料口处设置有排料管；本实用新型能够降低氟气中氟化氢含量，对氟气进行过滤提纯的氟气过滤装置。

技术领域

本实用新型涉及氟气提纯技术领域，特别是一种氟气过滤装置。

背景技术

氟气(F2)是人类迄今为止发现的最活泼的物质，具有极强的反应活性。用氟气生产含氟化学品具有许多优异性能，在国防、信息、电子和化工领域应用广泛。如作为刻蚀剂或清洁剂应用在制造半导体器件、薄膜晶体管，核电工业中核燃料的提纯，电力行业绝缘气体六氟化硫的合成，新能源行业锂电池重要原料六氟磷酸锂的合成等等。因此，制氟相关技术的研发具有重要意义。

公知的制备氟气的方法有电解法、化学药剂法和等离子体裂解法三类。其中电解法是最为成熟、应用最广的生产方法。

电解制氟法又分低温电解、高温电解以及中温电解三种工艺路线，由于低温法是在-50℃～-100℃之间生产、高温法是在230℃～250℃之间生产，相对于70℃～90℃的中温电解法而言，无论在能量单耗亦或在材质要求等方面，中温制氟法占尽优势。目前在世界范围内，氟气基本上都是采取中温电解工艺制备的。

中温电解制氟，由于起始原料以及工艺条件所限，其中或多或少都夹杂有1％～8％氟化氢(HF)气体以及1％左右的四氟化碳(CF4)气体，氟气初始纯度只有92％～95％左右。由于四氟化碳化学性质呈现惰性，在绝大多数情况下，少量的四氟化碳存在，不影响氟气使用。而氟化氢却因为性质比较活泼、可与很多物质发生反应，所以中温制氟得到的氟气在使用前必须进行纯化，目的就是尽量降低氟气中氟化氢含量。

发明内容

有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种能够降低氟气中氟化氢含量，对氟气进行过滤提纯的氟气过滤装置。

本实用新型采用以下方法来实现：一种氟气过滤装置，包括支撑箱体，所述支撑箱体左端设置有锥形反应器，所述锥形反应器上表面经输气管与一过滤仓连接，所述锥形反应器左侧面下端连接有出液管，所述支撑箱体上环绕所述锥形反应器等距离设置有用于冷却所述锥形反应器的多根冷凝管，所述支撑箱体右侧上端设置用于储存碱金属氟化物的储存仓，所述储存仓和所述过滤仓经一送料管连接，所述送料管的出料口处设置开合件，所述过滤仓右侧面上端设置有排气管，所述过滤仓下表面的出料口处设置有排料管。

进一步的，所述锥形反应器的出料口处设置有第一电磁阀，所述出液管内设置有第二电磁阀，所述输气管的出气口处设置有第三电磁阀，所述输气管上设置有抽气泵。

进一步的，所述排气管的出气口处设置有第四电磁阀，所述排料管内设置有第五电磁阀。

进一步的，所述储存仓上表面设置有用于将碱金属氟化物输送至所述储存仓内的进料斗,所述支撑箱体右侧上端设置有第一伸缩气缸，所述第一伸缩气缸的伸缩杆末端设置有用于开合所述进料斗的第一可开合板。

进一步的，所述开合件包括第二伸缩气缸，所述第二伸缩气缸设置于所述储存仓下表面，所述第二伸缩气缸的伸缩杆末端设置有用于开合所述送料管的第二可开合板。

进一步的，所述支撑箱体正面右下角开设有用于观察所述过滤仓内情况的观察口。