[实用新型]一种带有导流功能的重锤组件有效
| 申请号: | 202222570834.9 | 申请日: | 2022-09-27 |
| 公开(公告)号: | CN218262824U | 公开(公告)日: | 2023-01-10 |
| 发明(设计)人: | 王维;陈辉;黄鸣 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创真空技术有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/32 | 分类号: | C30B15/32;C30B29/06 |
| 代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 吴英杰 |
| 地址: | 102600 北京市大兴区北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 带有 导流 功能 重锤 组件 | ||
本申请涉及一种带有导流功能的重锤组件,其包括锤体,所述锤体一端连接有钨绳卡紧组件,所述锤体另一端设有石墨头连接端,所述锤体的周壁上设置有导流片,所述导流片呈板状且其中一条侧边的长度方向与所述锤体的轴线平行。本申请具有切割从副室顶端下来的气流涡旋,提高单晶生长环境稳定性的效果。
技术领域
本申请涉及单晶炉设备领域,尤其是涉及一种带有导流功能的重锤组件。
背景技术
单晶炉是在惰性气体的环境中,采用石墨电阻加热器,将硅材料融化,并采用直拉法生长无错位单晶的设备,在直拉法生长单晶工艺中,重锤为籽晶加持关键部件,重锤的一端为石墨夹头,且在石墨头背离重锤的一侧加工锥型孔,籽晶卡接于石墨夹头上,重锤另一端连接有钨绳。
目前,提拉过程在单晶炉的炉室中进行,在进行提拉过程中,副室顶端安装有旋转和提升机构,用于提升和转动重锤,钨绳提拉重锤使籽晶插入溶体表面进行熔接,待籽晶与液面充分熔接后,出现单晶棱点,通过向上提拉和旋转籽晶,完成引晶、放肩、转肩、等径、收尾等一些列工艺过程,最终得到一根完整的单晶硅棒。
针对上述中的相关技术,发明人认为单晶硅棒在进行提拉过程中,从副室顶端下来的气流极易带有一定数量的涡旋,涡旋的存在不利于单晶生长,降低了晶体生长环境的稳定性。
实用新型内容
为了改善气流涡旋不利于单晶生长的现状,本申请提供一种带有导流功能的重锤组件。
本申请提供的一种带有导流功能的重锤组件采用如下的技术方案:
一种带有导流功能的重锤组件,包括锤体,所述锤体一端连接有钨绳卡紧组件,所述锤体另一端设有石墨头连接端,所述锤体的周壁上设置有导流片,所述导流片呈板状且其中一条侧边的长度方向与所述锤体的轴线平行。
通过采用上述技术方案,导流片可以将从副室顶端下来的气流涡旋切割开,为单晶的生长提供了良好的环境,有利于单晶硅棒的生长。
可选的,所述导流片沿锤体周壁间隔均匀设置有多个。
通过采用上述技术方案,导流片在切割气流涡旋时,间隔均匀设置的导流片可以将气流涡旋均匀切割开,保证副室内部流场的稳定,也可减少涡旋的数量,有效地提高了单晶生长环境的稳定性。
可选的,所述导流片呈楔形,且所述导流片靠近所述钨绳卡紧组件的一侧为楔形的短边。
通过采用上述技术方案,当导流片在切割气流涡旋时,呈楔形的导流片可以逐步将气流切割开,气流涡旋不会受到瞬时冲击,保证流场环境的稳定。
可选的,所述导流片背离所述锤体的一侧的两个角加工有圆角。
通过采用上述技术方案,圆角可以使气流在经过导流片时保持平稳,避免造成气流紊乱,使气流可以平稳流经导流片。
可选的,所述导流片的厚度从短边向长边的方向逐渐增大。
通过采用上述技术方案,当气流涡旋被导流片切割时,被切割的气流之间的间隙会逐渐增大,切割后的气流之间的间隙变大,使得气流不会立即重合,气流在流经锤体时不会形成涡旋,有效的提高了单晶硅棒的生长环境。
可选的,所述导流片滑动插设在锤体内部,所述导流片背离所述锤体的一侧位于所述锤体外部,所述导流片可沿垂直于锤体轴线的方向滑动。
通过采用上述技术方案,气流涡旋的大小不一,若导流片较短而涡旋较大,则会出现导流片不能完全将涡旋切开的情况,若导流片较长,则会为锤体旋转造成阻碍,容易导致副室内气体环境的紊乱,通过调节导流片位于锤体外侧部分的长度,以应对大小不同的气流涡旋。
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