[实用新型]一种陶瓷盘端面旋转研磨装置

说明书

本实用新型公开了一种陶瓷盘端面旋转研磨装置，包括中空的工作台，工作台上端面固设旋转电机和旋转研磨固定台，旋转电机的输出端延伸至工作台内，旋转研磨固定台的圆心位置穿设传动轴，传动轴延伸至工作台内，工作台内水平设置同步带轮组，旋转电机通过同步带轮组连接传动轴，令旋转研磨固定台跟随旋转电机的转动一同旋转，本实用新型一种陶瓷盘端面旋转研磨装，通过高速旋转的方式带动陶瓷盘进行研磨，减少研磨过程中与陶瓷盘的接触时间，解决了受热不均匀的问题，通过高速旋转的方式，相较于传统的往复研磨，加工是时间短，提高加工效率，解决了陶瓷盘加工过程中的受热变形问题，提高成品率。

技术领域

本实用新型属于半导体加工技术领域，尤其涉及一种陶瓷盘端面旋转研磨装置。

背景技术

陶瓷盘是半导体封装测试机的核心零件，在运行时陶瓷盘高速旋转，带动半导体材料到达各个工位；陶瓷盘因为本次没有磁性，又是脆硬材料，在加工时，传统的平面磨床往复的研磨，局部受热膨胀，陶瓷盘冷热不均会导致陶瓷盘整体发生形变，造成到陶瓷盘直接报废，这样的加工方式造成陶瓷盘的加工良品率只有30％，不仅浪费大量的原材料，导致成品的制造成本高昂，而且传统的往复研磨加工方式，加工时间长，效率低下。因此需要一种方案来解决上述问题。

需要说明的是，上述内容属于发明人的技术认知范畴，并不必然构成现有技术。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型的目的是提供一种加工效率高，良品率高，消除加工过程中陶瓷盘受热不均发生变形的陶瓷盘端面旋转研磨装置，

为实现上述目的，本实用新型提出了一种陶瓷盘端面旋转研磨装置，其特征在于，包括中空的工作台，所述工作台上端面固设旋转电机和旋转研磨固定台，所述旋转电机的输出端延伸至所述工作台内，所述旋转研磨固定台的圆心位置穿设传动轴，所述传动轴延伸至所述工作台内，所述工作台内水平设置同步带轮，所述旋转电机通过所述同步带轮连接所述传动轴，令所述旋转研磨固定台跟随所述旋转电机的转动一同旋转。

在一个示例中，所述旋转电机外套设在机罩内，所述机罩安装在所述工作台上端面，防止研磨过程中产生的碎屑进入旋转电机，导致旋转电机损坏。

在一个示例中，所述旋转电机与所述工作台间固定支撑板。

在一个示例中，所述工作台上端面开设两与所述旋转电机和所述传动轴相适配的装配孔。

在一个示例中，所述旋转研磨固定台包括套筒，所述套筒固定在所述工作台上，所述套筒顶部盖设研磨台面，所述研磨台面内插设呈T字型设置的固定台，所述固定台上端面沿所述固定台的周向分别若干用于固定陶瓷盘的固定孔，所述固定台上下两端通过轴承分别活动连接所述套筒。

在一个示例中，所述传动轴垂直穿设在所述固定台内，所述传动轴垂直穿设在所述固定台内，所述传动轴的顶部延伸所述固定台顶部的开孔。

在一个示例中，所述传动轴朝向所述固定台的一端开设有用于定位陶瓷盘的定位孔。

在一个示例中，所述同步带轮组包括两结构相同的同步轮，两所述同步轮分别固定连接在所述旋转电机和所述传动轴位于所述工作台的部位，两所述同步轮间通过传动带同步连接。

通过本实用新型提出的一种陶瓷盘端面旋转研磨装置能够带来如下有益效果：

1.通过高速旋转的方式带动陶瓷盘进行研磨，减少研磨过程中与陶瓷盘的接触时间，解决了受热不均匀的问题；

2.通过高速旋转的方式，相较于传统的往复研磨，加工是时间短，提高加工效率；

3.解决了陶瓷盘加工过程中的受热变形问题，提高成品率。

附图说明