[实用新型]一种液晶面板光刻显影槽的冲洗喷头有效

专利信息
申请号: 202222509333.X 申请日: 2022-09-22
公开(公告)号: CN218360002U 公开(公告)日: 2023-01-24
发明(设计)人: 张蓬成 申请(专利权)人: 上海诺驰精密机械有限公司
主分类号: B05B1/14 分类号: B05B1/14;B05B15/50;B05B1/34;B01D29/64;B08B3/02
代理公司: 上海索源知识产权代理有限公司 31431 代理人: 李燕
地址: 201600 上海市松*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 液晶面板 光刻 显影 冲洗 喷头
【说明书】:

实用新型涉及显影槽清洗设备技术领域,具体涉及一种液晶面板光刻显影槽的冲洗喷头,包括外壳、防堵机构和喷头本体,防堵机构包括驱动组件、滤桶、清理刷和刮板,在需要使用冲洗喷头时,将外壳的进水口连接至水管处,通过滤桶对外壳流进的水进行过滤,防止水中的杂质进入导致喷头本体堵塞,启动驱动组件驱动清理刷转动,清理刷转动对滤桶上的杂质进行清理,防止滤桶内的杂质堆积堵塞滤桶导致水无法流出,同时驱动组件带动刮板转动,通过刮板转动可以提高水的流速起到增压的作用,定期在使用后取出滤桶将滤桶内的杂质倒出,即可防止喷头本体堵塞,从而解决了现有的显影槽冲洗碰头不具备防堵功能的问题。

技术领域

本实用新型涉及显影槽清洗设备技术领域,尤其涉及一种液晶面板光刻显影槽的冲洗喷头。

背景技术

液晶面板光刻显影槽的冲洗喷头是对液晶面板光刻显影槽进行清洗的重要设备。

目前,现有技术(CN201815397U)公开了一半导体光刻显影槽的冲洗喷头,包括两个进水管、容置腔、多个喷嘴,容置腔的顶部分别通过活接头连接两个进水管,容置腔的底部设置多个喷嘴。本实用新型将显影槽的冲洗喷头由双管喷头改为带有多个喷嘴的喷头,能够使冲洗压力分流,减小中心区域水分子与栅氧之间的摩擦力,达到减少中心区域静电电荷积累的目的,最终能够消除电荷。

采用上述方式,不具备防堵功能,当使用冲洗喷头对显影槽进行清洗时,喷头内堵塞导致冲洗喷头无法使用,从而导致工作效率降低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种液晶面板光刻显影槽的冲洗喷头,旨在解决现有的显影槽冲洗碰头不具备防堵功能的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供了一种液晶面板光刻显影槽的冲洗喷头,包括外壳、防堵机构和喷头本体,所述防堵机构设置于所述外壳的内侧壁,所述喷头本体设置于所述外壳的一侧;

所述防堵机构包括驱动组件、滤桶、清理刷和刮板,所述驱动组件与所述外壳固定连接,并位于所述外壳的内侧壁,所述滤桶与所述外壳拆卸连接,并位于所述外壳的内侧壁,所述清理刷与所述驱动组件固定连接,并位于所述滤桶内,所述刮板与所述驱动组件固定连接,并位于所述驱动组件远离所述清理刷的一侧。

其中,所述驱动组件包括安装架、电机和转轴,所述安装架与所述外壳固定连接,并位于所述外壳的内侧壁,所述电机与所述安装架固定连接,并位于所述安装架的外侧壁,所述转轴与所述电机输出端固定连接,并贯穿所述滤桶,所述刮板与所述转轴固定连接,并位于所述转轴远离所述电机的一侧。

其中,所述驱动组件还包括防水壳,所述防水壳与的一侧与所述电机固定连接,所述防水壳的另一侧与所述安装架固定连接,并位于所述电机的外侧壁。

其中,所述清理刷包括外板、内板和多个弹簧和多个刷头,所述外板与所述转轴固定连接,并位于所述转轴的外侧壁,所述内板与所述外板滑动连接,并位于所述外板的内侧壁,多个所述弹簧的一侧分别与所述外板固定连接,多个所述弹簧的另一侧分别与所述内板固定连接,均位于所述外板与所述内板之间,多个刷头分别与所述内板固定连接,并位于所述内板靠近所述滤桶的一侧。

其中,所述防堵机构还包括密封块,所述密封块设置于所述外壳与所述喷头本体之间。

本实用新型的一种液晶面板光刻显影槽的冲洗喷头,在需要使用冲洗喷头时,将所述外壳的进水口连接至水管处,通过所述滤桶对所述外壳流进的水进行过滤,防止水中的杂质进入导致所述喷头本体堵塞,启动所述驱动组件驱动所述清理刷转动,所述清理刷转动对所述滤桶上的杂质进行清理,防止所述滤桶内的杂质堆积堵塞所述滤桶导致水无法流出,同时所述驱动组件带动所述刮板转动,通过刮板转动可以提高水的流速起到增压的作用,定期在使用后取出所述滤桶将所述滤桶内的杂质倒出,即可防止所述喷头本体堵塞,从而解决了现有的显影槽冲洗碰头不具备防堵功能的问题。

附图说明

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