[实用新型]压电晶体元器件掩膜板盖板机有效
| 申请号： | 202222337398.0 | 申请日： | 2022-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN218068568U | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 田渕亚宁 | 申请（专利权）人： | 凯视通机器人智能科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L41/25 |
| 代理公司： | 北京深川专利代理事务所(普通合伙) 16058 | 代理人： | 尤巧凤 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电 晶体 元器件 掩膜板盖 板机 | ||
1.压电晶体元器件掩膜板盖板机，包括设备机架(1)，其特征在于：所述设备机架(1)上端面一侧依次设有上料机构(2)、载台输送机构(3)、载台定位机构(4)、纠错机构、UP Mask板盖板机构(6)和Mask上盖板盖板机构(7)，所述上料机构(2)包括升降模组(201)和固定设于升降模组底部的提篮料仓(202)，所述载台输送机构(3)上方滑动设有载台(5)，所述载台定位机构(4)与载台(5)连接并驱动载台(5)水平移动，所述纠错机构包括纠错视觉机构(501)和纠错执行机构(502)，所述载台(5)上端面设有掩膜板固定气缸(8)。
2.根据权利要求1所述的压电晶体元器件掩膜板盖板机，其特征在于：所述载台定位机构(4)包括固定设于设备机架(1)上端面的定位气缸，所述定位气缸的活塞端与载台(5)驱动连接。
3.根据权利要求1所述的压电晶体元器件掩膜板盖板机，其特征在于：所述纠错视觉机构(501)采用CCD相机。
4.根据权利要求3所述的压电晶体元器件掩膜板盖板机，其特征在于：所述纠错执行机构(502)采用吸嘴。
5.根据权利要求1所述的压电晶体元器件掩膜板盖板机，其特征在于：所述UP Mask板盖板机构(6)采用矩阵式吸盘。
6.根据权利要求1所述的压电晶体元器件掩膜板盖板机，其特征在于：所述Mask上盖板盖板机构(7)采用电磁铁和抓钩。
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