[实用新型]一种匀胶显影机的废液回收装置

说明书

本实用新型涉及废液回收技术领域，具体涉及一种匀胶显影机的废液回收装置。本实用新型提供一种能对匀胶显影机的废液进行充分过滤和净化的匀胶显影机的废液回收装置。本实用新型提供了这样一种匀胶显影机的废液回收装置，包括有储液箱、滤网、排污管和活性炭棉等；储液箱的上部连接有用于将废液进行初次过滤的滤网，储液箱上部与下部之间连接处安装有排污管，排污管连接有与之适配的用于对经滤网过滤后的液体再次净化的活性炭棉。通过滤网对废液进行初步过滤，通过活性炭棉对经滤网过滤后的液体进行二次过滤，通过加热管和导热板的配合，实现废液的充分过滤与净化，从而实现废液回收功能。

技术领域

本实用新型涉及废液回收技术领域，具体涉及一种匀胶显影机的废液回收装置。

背景技术

匀胶显影机是完成除曝光以外的所有光刻工艺的设备，包括光刻材料的涂布、烘烤、显影、晶圆背面的清洗以及用于浸没式工艺的晶圆表面的去离子水冲洗等，因此，匀胶显影机在使用显影液显影后需要对晶圆表面进行清洗，去除吸附在晶圆表面的显影液。

随着电子产品行业的发展，匀胶显影机中显影液的使用量也越来越多，因此针对匀胶显影机中晶圆表面清洗产生的废液处理也愈发受到关注，因为废液对水资源污染较大，因此需要经过处理之后才可以排放，目前对匀胶显影机清洗产生的废液大多是简单过滤后便排入排污管道中，存在过滤和净化不彻底致使污染环境的缺点。

因此，需要设计一种能对匀胶显影机的废液进行充分过滤和净化的匀胶显影机的废液回收装置。

实用新型内容

本实用新型为了克服现有技术中对匀胶显影机的废液仅进行简单过滤和净化致使过滤和净化不彻底而污染环境的缺点，本实用新型要解决的技术问题是提供一种能对匀胶显影机的废液进行充分过滤和净化的匀胶显影机的废液回收装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了这样一种匀胶显影机的废液回收装置，包括有储液箱、滤网、排污管、活性炭棉、导热板和加热管，储液箱的上部连接有用于将废液进行初次过滤的滤网，上部储液箱与下部储液箱之间连接处安装有排污管，排污管连接有与之适配的用于对经滤网过滤后的液体再次净化的活性炭棉，下部储液箱内设有用于对经活性炭棉过滤后的废液进行高温消毒的加热管，加热管外侧连接有加速热量传递的导热板。

优选地，还包括有挡板和滑动板，下部储液箱的上部连接有与之适配的挡板，挡板上滑动式连接有与其开口适配的滑动板。

优选地，还包括有排水管和盖板，下部储液箱的一侧对称地连接有用于排放净化后的液体的排水管，排水管安装有与之适配的盖板。

优选地，还包括有限位杆，活性炭棉一侧的上部连接有限位杆。

优选地，还包括有把手、清理杆和拉伸弹簧，储液箱连接有滤网的一侧滑动式连接有与之适配的清理杆，清理杆与滤网接触，清理杆与储液箱一侧之间连接有拉伸弹簧，清理杆靠近排污管的一侧连接有把手。

优选地，还包括有收集箱，上部储液箱的一侧安装有用于收集滤网过滤中的残渣的收集箱。

本实用新型具有的有益效果是：通过滤网对废液进行初步过滤，通过活性炭棉对经滤网过滤后的液体进行二次过滤，通过加热管和导热板的配合，实现对过滤后的液体进行高温消毒，实现对匀胶显影机清洗所产生的废液进行充分过滤与净化功能，处理后的液体经排水管完成回收再利用，实现废液回收利用功能，本装置能对匀胶显影机的废液进行充分的过滤与净化，避免对环境产生污染。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图。

图2为本实用新型的第一种部分立体结构示意图。

图3为本实用新型的部分剖视图。

图4为本实用新型的第二种部分立体结构示意图。

图5为本实用新型的部分局部方大图。