[实用新型]适用于柔性检测器件的激光微纳加工设备

权利要求书

1.适用于柔性检测器件的激光微纳加工设备，包括有设备本体，所述设备本体上安装有运动装置，其特征在于：所述运动装置上分别设置有第一激光加工模组与第二激光加工模组，所述第一激光加工模组包括有与运动装置相连的第一激光光路装置，所述第一激光光路装置的输出端连接有第一激光输出装置，所述第一激光输出装置的一侧设置有第一设备视觉装置；所述第二激光加工模组包括有与运动装置相连的第二激光光路装置，所述第二激光光路装置的输出端连接有第二激光输出装置，所述第二激光输出装置的二侧设置有第二设备视觉装置；所述第一激光光路装置与第二激光光路装置的工作波长不同。

2.根据权利要求1所述的适用于柔性检测器件的激光微纳加工设备，其特征在于：所述运动装置包括有垂直承载板，所述垂直承载板上设置有镜像分布有导轨，所述导轨之间设置有滚珠丝杆，所述滚珠丝杆上设置有滑块，所述滑块底部与导轨活动连接，所述垂直承载板上设置有驱动装置，所述驱动装置与滚珠丝杆相连，所述滑块上设置有第一激光加工模组与第二激光加工模组。

3.根据权利要求2所述的适用于柔性检测器件的激光微纳加工设备，其特征在于：所述导轨的横截面为工字形，所述驱动装置为伺服电机，所述伺服电机上设置有操控通讯接口。

4.根据权利要求2所述的适用于柔性检测器件的激光微纳加工设备，其特征在于：所述垂直承载板上设置有安装支架，所述驱动装置设置在安装支架上，所述安装支架底部设置有通孔，所述驱动装置的驱动端设置在通孔内。

5.根据权利要求1所述的适用于柔性检测器件的激光微纳加工设备，其特征在于：所述第一激光光路装置、第二激光光路装置均包括有装置盒体，所述装置盒体内设置有激光发生器，所述装置盒体上导通连接有光路输送管，所述光路输送管与对应的激光输出装置相连。

6.根据权利要求1所述的适用于柔性检测器件的激光微纳加工设备，其特征在于：所述第一激光输出装置、第二激光输出装置均包括有收纳盒，所述收纳盒内设置有振镜组件，所述收纳盒位于振镜组件的输出端设置有发射端头。

7.根据权利要求1所述的适用于柔性检测器件的激光微纳加工设备，其特征在于：所述第一设备视觉装置、第二设备视觉装置均包括有定位支架，所述定位支架上设置有CCD组件。

8.根据权利要求7所述的适用于柔性检测器件的激光微纳加工设备，其特征在于：所述CCD组件上设置有遮光罩。