[实用新型]托盘清洁装置有效
申请号: | 202222174346.6 | 申请日: | 2022-08-18 |
公开(公告)号: | CN218395202U | 公开(公告)日: | 2023-01-31 |
发明(设计)人: | 孙晓晟;李冠龙;刘彦斌 | 申请(专利权)人: | 上海理想万里晖薄膜设备有限公司 |
主分类号: | B08B9/36 | 分类号: | B08B9/36;B08B13/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201306 上海市浦东新区中国(上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 托盘 清洁 装置 | ||
本实用新型提供托盘清洁装置。所述托盘清洁装置包括:驱动模块;支架;转轴,其设置在所述支架上,由所述驱动模块驱动转动;滚刷,其固定连接在所述转轴上与之一起转动;以及调节机构,其设置在所述支架上,用于调整所述滚刷的高度至恰能清洁托盘底部的高度。本实用新型在不影响托盘传输的前提下,去除黏连在托盘背面的粉末,避免污染反应腔。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池制造领域,特别涉及托盘清洁装置。
背景技术
薄膜/晶硅异质结太阳能电池(以下简称异质结太阳能电池,又可称HIT或SHJ太阳能电池)属于第三代高效太阳能电池技术,它结合了第一代晶硅与第二代硅薄膜的优势,具有转换效率高、温度系数低等特点,特别是双面的异质结太阳能电池转换效率可以达到26%以上,具有广阔的市场前景。
异质结太阳能电池制造过程中将会用到诸如等离子增强化学气相沉积(PECVD)设备、物理气相沉积(PVD)设备等真空镀膜设备,由载板(或托盘)承载硅片在其中进行相应的真空镀膜工艺以便分别形成非晶硅/微晶硅层、透明导电层TCO。托盘在循环使用的过程中,背面容易黏连与同步带垫块摩擦产生的粉末,并将粉末带入反应腔,影响工艺的稳定性,并会形成结块,不易清理。
因此,如何提供一种托盘清洁装置,以在不影响托盘传输的前提下,去除黏连在托盘背面的粉末,避免污染反应腔,已成为业内亟待解决的技术问题。
实用新型内容
针对现有技术的上述问题,本实用新型提出了一种托盘清洁装置,其包括:
驱动模块;
支架;
转轴,其设置在所述支架上,由所述驱动模块驱动转动;
滚刷,其固定连接在所述转轴上与之一起转动;以及
调节机构,其设置在所述支架上,用于调整所述滚刷的高度至恰能清洁托盘底部的高度。
在一实施例中,所述驱动模块包括微型电机以及减速箱。
在一实施例中,所述微型电机为可调速可逆电机,其额定功率为 120W,接单相220V交流电。
在一实施例中,所述减速箱与所述转轴直接连接,所述减速箱为 30速比直角中空减速箱。
在一实施例中,所述调节机构包括多个调节单元,所述调节单元包括通过螺栓螺母固定连接且相对位置可调的升降板以及固定板,所述升降板上设置有容纳转轴穿过的轴承。
在一实施例中,所述螺栓固定设置在升降板上,所述固定板上开设有适合所述螺栓滑动的开槽,所述螺栓穿过开槽被相配合的螺母固定在所述固定板的不同位置上。
在一实施例中,所述滚刷的刷毛为耐高温尼龙刷毛、不锈钢刷毛或铜铝合金刷毛。
在一实施例中,所述滚刷之下设置有用于承接滚刷刷下的粉末的承接板。
与现有技术中无在线的托盘清洁装置相比,本实用新型的托盘清洁装置包括驱动模块、支架、转轴、滚刷、调节机构,所述转轴,设置在所述支架上,由所述驱动模块驱动转动;所述滚刷与所述转轴固定连接并一起转动;所述调节机构设置在所述支架上,用于调整所述滚刷的高度至恰能清洁托盘底部的高度。本实用新型能在不影响托盘传输的前提下,去除黏连在托盘背面的粉末,避免污染反应腔。
附图说明
在结合以下附图阅读本公开的实施例的详细描述之后,能够更好地理解本实用新型的上述特征和优点。在附图中,各组件不一定是按比例绘制,并且具有类似的相关特性或特征的组件可能具有相同或相近的附图标记。
图1为本实用新型的托盘清洁装置的组成结构示意图;
图2为本实用新型的托盘清洁装置的侧视结构示意图;以及
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