[实用新型]一种上料机推料机构

说明书

本实用新型公开了一种上料机推料机构，包括基座、连接座、推杆以及用于带动连接座在基座上滑动的驱动机构，推杆沿平行于连接座滑动方向设置在连接座上方，推杆一端与连接座之间通过力敏传感器和浮动组件连接，力敏传感器固定在连接座上，浮动组件连接力敏传感器和推杆，通过力敏传感器检测推杆的轴向受力；推杆前端设有推杆头，推杆头采用凵字型结构，在靠近待推料的基板方向的端部设有用于与基板相配合的导向槽，本实用新型在基板存在翘曲变形时，使基板的端部始终处于导向槽内，进而避免损伤基板，同时能够避免出现频繁报警的问题，提高生产效率。

技术领域

本实用新型涉及半导体生产技术领域，具体涉及一种上料机推料机构。

背景技术

半导体生产线中基板的转料是通过弹匣实现的，线体的第一工站通常是上料机，在上料机推料机构的作用下，将弹匣中的基板送入生产线中。由于基板来料存在不同方向上的翘曲变形，在推料的过程中，有时会出现卡料、伤料现象。为了避免卡料时压坏基板，推料机构上设有卡料检测传感器，当出现卡料时，卡料检测传感器报警，设备报警停机，现有的推料机构报警频繁，导致需要频繁停机进行清理，影响生产效率；并且对于翘曲的基板，推杆在推动时容易从基板翘曲边缘擦过，造成空推甚至擦伤基板。

实用新型内容

技术目的：针对现有推料机构卡料检测不稳定，报警频繁的不足，本实用新型公开了一种能够调整推力范围，在基板翘曲程度不大时顺利从弹匣中推出的上料机推料机构。

技术方案：为实现上述技术目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种上料机推料机构，包括基座、连接座、推杆以及用于带动连接座在基座上滑动的驱动机构，推杆沿平行于连接座滑动方向设置在连接座上方，推杆一端与连接座之间通过力敏传感器和浮动组件连接，力敏传感器固定在连接座上，浮动组件连接力敏传感器和推杆，通过力敏传感器检测推杆的轴向受力。

优选地，本实用新型的基座上设置用于辅助推杆滑动的导向机构，所述导向机构包括沿连接座滑动方向设置在基座两端的前支架板和后支架板，推杆穿设在前支架板上，在前支架板和后支架板之间设有与推杆相平行的导向轴，在导向轴上穿设有导向块，导向块下端与推杆固定连接，导向块与导向轴之间以及推杆与前支架板之间均通过直线轴承配合连接。

优选地，本实用新型的浮动组件包括与力敏传感器螺纹连接的连接块，以及与连接块浮动连接的浮动块，推杆的端部连接在浮动块上；在连接块靠近浮动块的一端设有C型卡槽，浮动块靠近连接块的一端卡接在C型卡槽内。

优选地，本实用新型的推杆前端设有推杆头，推杆头采用凵字型结构，在靠近待推料的基板方向的端部设有用于与基板相配合的导向槽。

优选地，本实用新型的导向槽采用喇叭状扩口结构，从导向槽的槽底向外侧倾斜。

优选地，本实用新型的基座上设有用于检测推杆推动位置的感应机构，感应机构包括设置的连接座上的感应钣金，以及沿平行于连接座的滑动方向设置在基座上的原位传感器和限位传感器，原位传感器和限位传感器通过检测感应钣金的位置获取推杆的推动位置。

优选地，本实用新型的驱动机构包括推料电机和同步组件，所述同步组件沿平行于连接座滑动方向设置在基座的一侧，连接座与同步组件的同步带固定连接，推料电机的驱动端与同步组件的其中一个同步轮连接，通过推料电机驱动同步轮，带动同步带上的连接座在基座上滑动。

有益效果：本实用新型的所提供的一种上料机推料机构具有如下有益效果：

1、本实用新型通过连接座上的力敏传感器检测推杆推动基板过程中承受的推力大小，可以通过预设力敏传感器的报警数值，进而在一些基板变形不大时，可以用较大的推力将基板从弹匣中推出，从而避免出现频繁报警的问题，提高生产效率。

2、本实用新型在基座上设置导向机构，在驱动机构带动连接座在基座上滑动，带动推杆进行基板的推送时，导向机构可以保证推动过程的平稳性，同时，提高推杆的承力能力。