[实用新型]一种光阻剂吸管及光阻瓶

说明书

本申请公开了一种光阻剂吸管及光阻瓶，光阻剂吸管用于安装到光阻瓶上以吸取内部的光阻剂，包括：软管，所述软管位于所述光阻瓶内部的管体长度大于所述光阻瓶的深度；重力球，包括通过所述重力球的球心的通孔，所述通孔包括第一端和第二端，所述软管与所述第一端连接，所述光阻剂从所述第二端进入所述软管；所述重力球的密度大于所述光阻剂的密度。本申请可以最大程度地将光阻瓶内的光阻剂抽出，减少瓶内光阻剂的残留量，以提高材料利用率，降低生产成本。

技术领域

本申请涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种光阻剂吸管及光阻瓶。

背景技术

涂布光阻剂是芯片制造至关重要的一道程序，工艺时光阻剂通过吸管从光阻瓶中进入涂布设备。由于光阻剂本身粘度较大并且不透明，吸管安装到光阻瓶上后，如果吸管的末端未处于光阻瓶的底部，则光阻瓶的底部常常会残留一部分光阻剂，造成浪费，由此间接增加了芯片的生产成本。

实用新型内容

针对上述技术问题，本申请提供一种光阻剂吸管及光阻瓶，可以改善现有技术中光阻瓶的底部常常会残留一部分光阻剂造成浪费增加了芯片的生产成本的问题。

为解决上述技术问题，第一方面，本申请实施例提供一种光阻剂吸管，用于安装到光阻瓶上以吸取内部的光阻剂，包括：

软管，所述软管位于所述光阻瓶内部的管体长度大于所述光阻瓶的深度；

重力球，包括通过所述重力球的球心的通孔，所述通孔包括第一端和第二端，所述软管与所述第一端连接，所述光阻剂从所述第二端进入所述软管；所述重力球的密度大于所述光阻剂的密度。

可选的，所述重力球的表面设置有凸起结构。

可选的，所述凸起结构包括多个在所述重力球的表面均匀分布的点状凸起。

可选的，所述凸起结构的表面为圆滑的曲面。

可选的，所述凸起结构为环绕所述重力球的环形凸起。

可选的，所述重力球内还设置有配重空腔，用于容纳质量块以改变所述重力球的密度，所述配重空腔与所述通孔间隔设置。

可选的，所述重力球包括由所述第一端向外延伸的连接部，所述软管通过所述连接部与所述第一端连接；

所述连接部设有中空部，所述中空部将所述软管与所述通孔连通。

可选的，所述第一端的直径小于所述第二端的直径，并且所述通孔的孔径由所述第二端向所述第一端圆滑过渡。

第二方面，本申请实施例还提供一种光阻瓶，包括设有瓶口的瓶体，和盖设于所述瓶口处的瓶塞，还包括如上各实施例所述的光阻剂吸管，所述光阻剂吸管贯穿所述瓶塞设置，所述重力球位于所述瓶体内。

可选的，所述光阻瓶还包括设置于所述瓶塞上的进气孔，用于连接进气管，以在涂光阻剂的工艺中向所述光阻瓶通入气体。

如上所述本申请的光阻剂吸管，由于软管位于光阻瓶内部的管体长度大于光阻瓶的深度，并且重力球的密度大于光阻剂的密度，因此，在重力的作用下，重力球可以沉入至光阻瓶内最低处，最大程度地将光阻瓶内的光阻剂抽出，减少瓶内光阻剂的残留量，以提高材料利用率，降低生产成本。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本申请实施例提供的一种光阻剂吸管在光阻瓶中的使用状态图；

图2是本申请实施例提供的一种光阻剂吸管的结构示意图；