[实用新型]一种基于硅棒加工用的打磨装置

说明书

本实用新型公开了一种基于硅棒加工用的打磨装置，包括集尘箱、转盘和第一安装套管，所述集尘箱顶部的一端安装有第一固定板，且集尘箱顶部的另一端安装有第二固定板，所述第一固定板远离第二固定板的一端安装有电机，且电机的输出端安装有转轴，所述转轴穿过第一固定板，且转轴远离电机的一端安装有转盘。本实用新型安装有第一固定板、电机、转轴、第一电动气压缸、第一夹片和第二夹片，打磨时，可先通过第一夹片和第二夹片将硅棒的一端固定，电机通过转轴带动转盘转动，即可使打磨片转动并对硅棒进行打磨，打磨过程中，硅棒自身不转动，可避免硅棒在旋转过程中自身受到较大应力，从而可避免硅棒磨损或受力断裂。

技术领域

本实用新型涉及硅棒加工设备技术领域，具体为一种基于硅棒加工用的打磨装置。

背景技术

硅棒是通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的硅单晶体棒，硅棒是硅片的原料，也是半导体设备制造常用的原材料之一，生产硅棒时，硅棒外侧会留有毛边，需要通过打磨装置对硅棒外侧进行打磨处理，使硅棒外侧保持平滑。

现有的基于硅棒加工用的打磨装置在使用时，大多先将硅棒固定，再带动硅棒转动进行打磨，硅棒转动过程中与磨片产生摩擦，使得硅片局部受到较大应力，且由于硅棒硬度较低，使得硅棒容易磨损、甚至断裂，因此，本实用提供一种基于硅棒加工用的打磨装置用于解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种基于硅棒加工用的打磨装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种基于硅棒加工用的打磨装置，包括集尘箱、转盘和第一安装套管，所述集尘箱顶部的一端安装有第一固定板，且集尘箱顶部的另一端安装有第二固定板，所述第一固定板远离第二固定板的一端安装有电机，且电机的输出端安装有转轴，所述转轴穿过第一固定板，且转轴远离电机的一端安装有转盘，所述转盘远离转轴一端的中间位置处安装有第三电动气压缸，且第三电动气压缸的输出端安装有连接块，所述连接块的外侧对称铰接有一组推拉杆，且推拉杆远离连接块的一端皆铰接有第一安装套管，所述第一安装套管的内部皆安装有连接杆，且第一安装套管远离推拉杆的一端皆设置有通口，所述连接杆远离转盘的一端皆安装有安装块，且安装块靠近第三电动气压缸的一端皆安装有打磨片，所述第二固定板靠近第一固定板一端的顶部安装有第二夹片，且第二固定板的顶部安装有顶板，所述顶板的顶部安装有第一电动气压缸，所述第一电动气压缸的输出端穿过顶板，且第一电动气压缸的输出端安装有第一夹片，所述转盘的外侧对称安装有一组连接板，且连接板远离第二固定板的一端皆安装有第二电动气压缸，所述第二电动气压缸的输出端皆穿过连接板，且第二电动气压缸的输出端皆安装有第二安装套管，所述集尘箱靠近第一固定板一端的顶部安装有气泵，且气泵的输入端安装有延伸至集尘箱内部的抽气管，所述集尘箱远离气泵一端的顶部安装有控制面板，所述控制面板的输出端通过导线分别与气泵、电机、第一电动气压缸、第二电动气压缸和第三电动气压缸的输入端电性连接。

优选的，所述第二安装套管的内部皆安装有安装内杆，所述安装内杆皆穿过通口，且安装内杆远离第二安装套管的一端皆与连接杆连接。

优选的，所述安装内杆靠近第二安装套管的一端皆安装有伸缩弹簧，且伸缩弹簧远离安装内杆的一端皆与第二安装套管连接。

优选的，所述第二安装套管内部的两端皆安装有第三滑动组件，且第三滑动组件靠近安装内杆的一端皆滑动安装有第三导向滑块，所述第三导向滑块远离第三滑动组件的一端皆与安装内杆连接。

优选的，所述转盘远离转轴的一端对称安装有一组第一滑动组件，且第一滑动组件远离转盘的一端皆滑动安装有第一导向滑块，所述第一导向滑块远离第一滑动组件的一端皆与第一安装套管连接。

优选的，所述第一安装套管内部靠近第三电动气压缸的一端皆安装有第二滑动组件，且第二滑动组件远离第三电动气压缸的一端皆滑动安装有第二导向滑块，所述第二导向滑块远离第二滑动组件的一端皆与连接杆连接。