[实用新型]一种液态氟化氢溶液的气体制备装置

权利要求书

1.一种液态氟化氢溶液的气体制备装置，其特征在于：包括用于储存液体氟化氢的储液罐和用于储存氟化氢气体的储气罐，所述储液罐和所述储气罐之间经一通道连接，所述储液罐和所述储气罐左右设置，所述通道内设置有用于将液体氟化氢转化为氟化氢气体的转化输送件；所述储液罐左侧面上端设置有进液管。

2.根据权利要求1所述的一种液态氟化氢溶液的气体制备装置，其特征在于：所述转化输送件包括输送管，且所述输送管的截面为波浪形，所述储液罐内右侧面下端设置有抽液泵，所述抽液泵经抽液管与所述输送管的进口连接，所述储气罐的左侧面下端设置有抽气泵，所述抽气泵经抽气管与所述输送管的出口连接，所述通道内上下两端均等距离设置有多根加热管，所述加热管设置于所述输送管的上下两侧。

3.根据权利要求1所述的一种液态氟化氢溶液的气体制备装置，其特征在于：所述储液罐内右侧面上端设置有液位传感器，且所述液位传感器设置于所述储液罐高度的2/3处。

4.根据权利要求1所述的一种液态氟化氢溶液的气体制备装置，其特征在于：所述储气罐内设置有集气斗，所述储气罐内左侧面上端设置有温度传感器，且所述温度传感器设置于所述集气斗上方，所述储气罐上设置有出气管，所述出气管内设置有电磁阀，所述储气罐内壁设置有保温层。