[实用新型]一种边缘光刻胶去除装置

权利要求书

1.一种边缘光刻胶去除装置，其特征在于，包括平移机构、软化仓、加热组件及喷嘴，所述平移机构包括平移驱动组件及与平移驱动组件传动连接的平移件，所述软化仓与平移件固接，所述软化仓设有供晶圆的边缘穿入软化仓内部的开口，所述平移驱动组件能够驱动平移件及与平移件固接的软化仓朝向表面涂布有光刻胶的晶圆的边缘移动，供软化仓经由开口罩设于光刻胶边缘偏厚部分的外侧，所述加热组件固设于软化仓内，用于对罩设于软化仓内的光刻胶边缘偏厚部分进行加热软化，所述喷嘴设于软化仓，所述喷嘴的喷射端朝向光刻胶边缘偏厚部分，以喷射溶剂溶解清除晶圆表面加热软化后的光刻胶边缘偏厚部分。

2.根据权利要求1所述的一种边缘光刻胶去除装置，其特征在于，还包括负压风机，所述负压风机固设于平移件，所述负压风机的进风口与软化仓内部相连通，以抽排喷嘴朝向光刻胶边缘偏厚部分喷射溶剂所产生的微小悬浮液滴。

3.根据权利要求2所述的一种边缘光刻胶去除装置，其特征在于，所述负压风机分为两组，两组负压风机分别设于喷嘴的两侧，以均匀抽排喷嘴朝向光刻胶边缘偏厚部分喷射溶剂所产生的微小悬浮液滴。

4.根据权利要求1所述的一种边缘光刻胶去除装置，其特征在于，还包括微调机构，所述微调机构包括固设于软化仓的直线驱动组件及与直线驱动组件传动连接的滑移件，所述喷嘴与滑移件固接，所述直线驱动组件能够驱动滑移件及与滑移件固接的喷嘴沿晶圆的径向方向移动，以调整喷嘴的喷射端朝向光刻胶边缘偏厚部分的喷射位置。

5.根据权利要求4所述的一种边缘光刻胶去除装置，其特征在于，所述微调机构为伺服马达直线模组、气缸模组或齿轮齿条模组。

6.根据权利要求1所述的一种边缘光刻胶去除装置，其特征在于，所述平移机构为伺服马达直线模组、气缸模组或齿轮齿条模组。

7.根据权利要求1所述的一种边缘光刻胶去除装置，其特征在于，所述平移驱动组件包括支座、丝杆、导向杆及电机，所述平移件包括滑块，所述丝杆转动设于支座，所述导向杆固设于支座，所述滑块设有导向孔和螺孔，所述滑块经由导向孔滑动套设于导向杆，并经由螺孔与丝杆螺接，所述电机固设于支座，并与丝杆传动连接，所述软化仓与滑块固接。

8.根据权利要求1所述的一种边缘光刻胶去除装置，其特征在于，所述软化仓的底部设有与软化仓内部相连通的排液管，用于排出喷嘴对光刻胶边缘偏厚部分进行喷射清除后流入软化仓底部的溶剂。

9.根据权利要求1至8任一项所述的一种边缘光刻胶去除装置，其特征在于，所述软化仓整体为与晶圆的边缘相契合的圆弧形，所述开口设于圆弧形的软化仓的侧部。

10.根据权利要求4所述的一种边缘光刻胶去除装置，其特征在于，所述软化仓为透明材质，以透过软化仓观察喷嘴的喷射端朝向光刻胶边缘偏厚部分的喷射位置。