[实用新型]一种太阳能薄膜电池靶材用研磨装置

说明书

本实用新型公开了一种太阳能薄膜电池靶材用研磨装置，涉及靶材加工技术领域。本实用新型包括工作台，工作台上表面固定有定位架；定位架两侧均固定有定位板，定位板表面开有通孔，定位板一侧固定有拉簧，拉簧一端固定有连接板，连接板一侧固定有连接杆；连接杆一端固定有挤压板，挤压板一侧固定有气囊；气囊一侧固定有进气管，进气管外侧固定有三通管，三通管一端螺纹连接有密封盖；进气管另一端固定有充气泵；工作台上表面固定有滑槽。本实用新型通过气囊的作用，该装置可以灵活的对靶材进行固定，且气囊的大小可以灵活快捷的进行调节，在加工同一靶材时，无需再对夹紧装置进行复杂的调节，以此使得靶材的研磨加工更加高效快捷。

技术领域

本实用新型属于靶材加工技术领域，特别是涉及一种太阳能薄膜电池靶材用研磨装置。

背景技术

溅镀是一种物理气相沉积技术，主要是利用高能量的离子束或原子束射入靶材中，而使靶材表面的原子获得额外动能以脱离靶材，进而使原子得以飞溅至待镀物上而沉积成薄膜。靶材包含正板与背板，正板使用的材质即为待镀物所欲沉积的材质。例如，待镀物上若是欲沉积铝薄膜，则正板的材质为铝。正板与背板相贴合，其中背板略大于正板，由于靶材的正板与背板的材质不同，所以在制作靶材时，需要经过靶材绑定将正板与背板绑定在一起，才能做为靶材使用。

在分别清洗正板与背板后，在清洗完成后将正板与背板焊接在一起，焊接完成后，还需要分别对正板与背板进行研磨，由于正板与背板的体积有些微的不同，在对其进行固定时，需要对固定装置进行重新调节，这种方式导致加工效率较低，无法快速的对多个靶材进行研磨。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种太阳能薄膜电池靶材用研磨装置，通过，解决了现有的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型为一种太阳能薄膜电池靶材用研磨装置，包括工作台，所述工作台上表面固定有定位架；

所述定位架两侧均固定有定位板，所述定位板表面开有通孔，所述定位板一侧固定有拉簧，所述拉簧一端固定有连接板，所述连接板一侧固定有连接杆；

所述连接杆一端固定有挤压板，所述挤压板一侧固定有气囊；

所述气囊一侧固定有进气管，所述进气管外侧固定有三通管，所述三通管一端螺纹连接有密封盖；

所述进气管另一端固定有充气泵。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述工作台上表面固定有滑槽，所述充气泵底部固定有滑块。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述滑块为“T”型结构，所述滑块与滑槽滑动连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述工作台一侧固定有支架，所述支架一侧固定有伸缩杆，所述伸缩杆一端固定有调节杆；

所述调节杆一端固定有弹性管，所述弹性管一端固定有打磨机。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述支架外侧固定有轴承，所述轴承外圈固定有放置板。

本实用新型具有以下有益效果：

1、本实用新型通过气囊的作用，该装置可以灵活的对靶材进行固定，且气囊的大小可以灵活快捷的进行调节，在加工同一靶材时，无需再对夹紧装置进行复杂的调节，以此使得靶材的研磨加工更加高效快捷。

2、本实用新型通过放置板的作用，在使用时，可以通过伸缩杆和弹性管对打磨机的位置进行调节，打磨机即可对固定好的靶材进行加工，当不需使用打磨机时，可以将其放置在放置板时，以此对其进行及时的收纳。

当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

附图说明