[实用新型]一种用于靶材加工的加热装置

说明书

本实用新型公开了一种用于靶材加工的加热装置，包括底座，所述底座的两侧设有支撑柱，两个所述支撑柱的上方固定支撑有加热筒，位于所述支撑柱内侧的底座上设有电动推杆，两侧所述电动推杆的上方固定有密封板，所述密封板的中间设有电动丝杆，所述电动丝杆上设有靶材夹持组件，所述靶材夹持组件正对加热筒下方，本实用新型结构简单，设计新颖，特设的夹持机构在电动丝杆的配合下，能够方便对靶材的夹持，从而大大方便了工人的拿取。

技术领域

本实用新型涉及靶材加工技术领域，具体为一种用于靶材加工的加热装置。

背景技术

靶材主要由靶坯、背板等部分组成:其中，靶坯是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。

现有的靶材加热装置在加热过程中为了保证靶材的稳定性，需要多个螺丝和固定块配合将靶材进行夹持固定，而且经过加热的靶材温度较高，因此非常的不便于工人对靶材的拿取，因此有必要进行改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于靶材加工的加热装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于靶材加工的加热装置，包括底座，所述底座的两侧设有支撑柱，两个所述支撑柱的上方固定支撑有加热筒，位于所述支撑柱内侧的底座上设有电动推杆，两侧所述电动推杆的上方固定有密封板，所述密封板的中间设有电动丝杆，所述电动丝杆上设有靶材夹持组件，所述靶材夹持组件正对加热筒下方。

优选的，所述靶材夹持组件包括靶材座，所述靶材座的两侧设有延伸板，每侧所述延伸板上均设有滑槽，所述滑槽的前端设有横向限位柱，所述滑槽上还设有夹块，所述夹块的底部设有一个向下延伸的限位块，所述限位块前端连接着拉扯带的一端，所述拉扯带绕于限位柱后，所述拉扯带的另一端连接着矩形块，所述矩形块的两侧设有滑条，每侧所述滑条均嵌于滑轨内，所述滑轨设置在滑槽的内侧壁上；

所述限位块的后端连接着弹簧的一端，所述弹簧的另一端连接着滑槽的后端。

优选的，所述电动丝杆上设有滑行块，所述滑行块的两侧设有升降块，所述升降块的两侧均通过销轴连接着传动杆一端，所述传动杆的另一端也通过销轴连接着矩形块的底部。

优选的，所述加热筒的底部为开口设计，所述加热筒的内壁设有螺旋状的加热管，所述加热管连接着加热电源。

优选的，所述密封板呈圆形设计，所述密封板与加热筒底部的开口大小相匹配，所述密封板的外围设有一圈密封条。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，设计新颖，特设的夹持机构在电动丝杆的配合下，能够方便对靶材的夹持，从而大大方便了工人的拿取；

当滑行块在电动丝杆向上移动时，传动杆撑开的同时会牵着拉扯带后移，从而使拉扯带另一端的夹块前移，继而实现靶材夹紧；当需要将靶材从夹持组件上取出时，只需要让滑行块下移，传动杆收回的同时会放松拉扯带，同时弹簧会回弹，从而牵动着两侧夹块后移，不在夹紧，即可将靶材取出。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型靶材夹持组件剖视示意图；

图3为本实用新型滑行块与矩形块的连接结构示意图；

图4为本实用新型加热筒内部结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。