[实用新型]晶片车间用除尘净化机有效
申请号: | 202221668576.1 | 申请日: | 2022-06-29 |
公开(公告)号: | CN217662063U | 公开(公告)日: | 2022-10-28 |
发明(设计)人: | 张艳强;马增建;马吉通 | 申请(专利权)人: | 沧州晶源远贸晶体材料有限公司 |
主分类号: | B01D46/02 | 分类号: | B01D46/02;B01D46/58;B01D46/88 |
代理公司: | 沧州市国瑞专利代理事务所(普通合伙) 13138 | 代理人: | 李瑶 |
地址: | 062450 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶片 车间 除尘 净化 | ||
1.一种晶片车间用除尘净化机,包括除尘箱(1),所述除尘箱(1)内设置有腔,除尘箱(1)前端下侧和后端上侧分别连通设置有进气管(11)和出气管;其特征在于,还包括:
除尘装置(2),所述除尘箱(1)底端设置有通口,所述通口底端设置有底板(21),所述底板(21)通过固定组件(22)与除尘箱(1)外侧壁下侧连接,所述除尘装置(2)包括设置于腔上侧的第一挡板(23)、设置于所述第一挡板(23)下侧的多组除尘布袋(24)、固定设置于多组除尘布袋(24)外侧壁上侧的固定圈(25)以及连接第一挡板(23)与多组固定圈(25)的连接组件(26),所述第一挡板(23)中部设置有多组第一通气孔,所述多组固定圈(25)分别设置于多组第一通气孔内,所述第一挡板(23)侧壁与腔侧壁密封接触;
拆卸装置(3),所述拆卸装置(3)包括设置于第一挡板(23)左右两侧中部的连接孔、固定设置于两组连接孔内侧壁的螺纹管(31)、螺装设置于两组螺纹管(31)内侧壁的螺纹杆(32)以及与两组螺纹管(31)连接的第一驱动装置(33);以及
高度移动装置(4),所述高度移动装置(4)设置于除尘箱(1)左右两端下侧,所述高度移动装置(4)输入端与除尘箱(1)左端下侧和右端下侧连接。
2.根据权利要求1所述的晶片车间用除尘净化机,其特征在于,所述除尘箱(1)左端下侧和右端下侧均设置有两组第一凹槽,所述高度移动装置(4)包括可转动设置于四组第一凹槽内的齿轮(41)、固定设置于两组齿轮(41)之间的第一连接轴(42)、固定设置于两组第一连接轴(42)后端的两组第一电机(43)、设置于除尘箱(1)左端下侧和右端下侧的支撑板(44)以及设置于所述支撑板(44)内侧壁两组第二凹槽内的两组齿条板(45),所述第一连接轴(42)可转动穿过除尘箱(1)后与固定设置于除尘箱(1)后端的第一电机(43)连接,所述四组齿条板(45)分别与四组齿轮(41)啮合接触,所述两组支撑板(44)均通过第一限位装置(46)与除尘箱(1)左端和右端上下滑动设置。
3.根据权利要求2所述的晶片车间用除尘净化机,其特征在于,所述第一限位装置(46)包括固定设置于左侧支撑板(44)右端上侧和右侧支撑板(44)左端上侧的第一限位块(461)以及设置于除尘箱(1)左端下侧和右端下侧的第一滑槽,所述两组第一限位块(461)分别设置于两组第一滑槽内。
4.根据权利要求3所述的晶片车间用除尘净化机,其特征在于,还包括支撑装置(5),所述支撑装置(5)设置于腔内,所述支撑装置(5)包括设置于第一挡板(23)上侧的第二挡板(51)、设置于第二挡板(51)中部的第二通气孔以及固定设置于多组第二通气孔内侧壁的支撑架(52),所述多组支撑架(52)均设置于多组除尘布袋(24)内,所述第二挡板(51)侧壁与腔内侧壁上侧固定连接。
5.根据权利要求4所述的晶片车间用除尘净化机,其特征在于,所述第一驱动装置(33)包括固定设置于两组螺纹杆(32)顶端的第一锥齿轮(331)、与所述两组第一锥齿轮(331)啮合接触的第二锥齿轮(332)、固定连接两组第二锥齿轮(332)的第二连接轴(333)以及固定设置于除尘箱(1)左端的第二电机(334),所述两组螺纹杆(32)顶端穿过第二挡板(51)并与之固定可转动连接,第二连接轴(333)左端和右端分别与腔内侧壁可转动连接,同时第二连接轴(333)左端可转动穿出腔后与第二电机(334)输出端连接。
6.根据权利要求5所述的晶片车间用除尘净化机,其特征在于,所述第一挡板(23)底端设置有多组安装槽,所述连接组件(26)包括固定设置于固定圈(25)前端和后端并设置于多组安装槽内的第一固定板以及连接多组第一固定板与第一挡板(23)的多组第一螺栓(261)。
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