[实用新型]一种防爆气体加热的设备

说明书

一种防爆气体加热的设备，包括：防爆加热模块、加热保温罐、工艺气进口和工艺气出口，防爆加热模块与加热保温罐上部连接，工艺气进口和工艺气出口与加热保温罐上部连接。其中，防爆加热模块包括：防爆盒、防爆盒顶盖、防爆通头、电器接头、防爆盒底座、铂热电阻温度传感器、温控器、接线端子和接线柱。本实用新型与传统技术相比，通过在调压阀前增设加热模块，进行预加热，能够使气体在经过减压时因为温度降低而使调压阀及其它部件冷凝结冰的现象有效缓解，提高阀门及部件的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及气体输送设备上气体加热的技术领域，具体涉及一种防爆气体加热的设备。

背景技术

由于全球电子、光伏产业的蓬勃发展，及我国政府大力提倡科技兴国，国内半导体、光伏制造业发展迅猛。据2006年中国半导体产业研究报告指出：“2006年底，中国国内有近50家晶圆制造厂，112家IC封装和IC装配厂，450家IC设计公司。2006年中国国内半导体产业产值807亿元人民币，大约为100亿美元，其中封测350亿元，晶圆制造242亿元，IC设计215亿元。中国国内半导体市场的规模在2006年超过600亿美元。其中前20大厂家就占有300亿美元以上。”光伏产业在近两年快速发展，是未来新能源产业的主力军。

而在半导体、光伏相关产业常用的制程中需要使用带许多特殊气体，而某些气体在通过减压后，因为温度降低而使调压阀及其它部件冷凝结冰，导致阀门及部件的寿命受损和气体的不能正常供应。所以加热模块显得及其重要。

加热模块主要用在半导体、光伏产业中为工艺机台连续配送工艺气体的设备上，加热气体。

在目前和以前的某些特气输送设备，若不使用加热模块，则有可能导致气体不能正常运输和供应。

为了解决上述问题，我们做出了一系列改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种防爆气体加热的设备，以克服现有技术所存在的上述缺点和不足。

一种防爆气体加热的设备，包括：防爆加热模块、加热保温罐、工艺气进口和工艺气出口，所述防爆加热模块与加热保温罐上部连接，所述工艺气进口和工艺气出口与加热保温罐上部连接；

其中，所述防爆加热模块包括：防爆盒、防爆盒顶盖、防爆通头、电器接头、防爆盒底座、铂热电阻温度传感器、温控器、接线端子和接线柱，所述防爆盒与加热保温罐上部连接，所述防爆盒顶盖与防爆盒顶部连接，所述防爆通头与防爆盒两侧连接，所述电器接头与防爆通头连接，所述防爆盒底座与防爆盒底部连接，所述铂热电阻温度传感器与接线柱连接，所述温控器与防爆盒内连接，所述铂热电阻温度传感器与加热保温罐内连接，所述接线端子与温控器连接。

进一步，所述加热保温罐包括：外壳、保温层、铸铝、盘管和隔离法兰，所述保温层与外壳内侧连接，所述铸铝与保温层内侧连接，所述盘管与铸铝内部连接，所述隔离法兰与外壳顶部连接。

本实用新型的有益效果：

本实用新型与传统技术相比，通过在调压阀前增设加热模块，进行预加热，能够使气体在经过减压时因为温度降低而使调压阀及其它部件冷凝结冰的现象有效缓解，提高阀门及部件的使用寿命。

附图说明：

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的俯视图。

附图标记：

防爆加热模块100、防爆盒110、防爆盒顶盖120、防爆通头130、电器接头140、防爆盒底座150、铂热电阻温度传感器160、温控器170、接线端子180和接线柱190。

加热保温罐200、外壳210、保温层220、铸铝230、盘管240、隔离法兰250、工艺气进口300和工艺气出口400。

具体实施方式