[实用新型]一种光阑及检测装置

说明书

一种光阑及检测装置，其中，光阑包括具有通光通道的本体件以及可转动地装设于本体件的遮光件，遮光件被配置成可控地在第一状态与第二状态之间切换；在第一状态下，光束的至少部分能够因遮光件的遮挡而无法通过通光通道；在第二状态下，遮光件能够解除对光束的遮挡。在对晶圆等进行检测时，可利用遮光件能够相对本体件转动的特点，精确地对一部分检测光束进行遮挡，使检测光束不会直接且集中地照射到大颗粒缺陷上，从而能够有效避免出现因大颗粒缺陷炸裂而污染晶圆等问题；同时，通过光阑的另一部分检测光束则可照射到位于大颗粒缺陷周围的小颗粒缺陷上，以实现小颗粒缺陷的检测，避免发生小颗粒缺陷漏检等问题。

技术领域

本实用新型涉及光学元件领域，具体涉及一种光阑及检测装置。

背景技术

光阑是一种在光学系统中对光束起到约束限制作用的实体，在现有的半导体（例如晶圆）检测设备的光学系统中，通常会借助光阑对检测光源所发出的检测光束的空间位置、光斑的形状及大小等进行限制。为提升半导体检测设备的灵敏度以及检测的准确性，检测光源大多采用激光光源，由于激光束的波长短、功率大，在激光束经过光阑照射到晶圆上的大颗粒缺陷时，常常会导致大颗粒缺陷被炸裂，不但容易对晶圆造成污染，而且很容易发生小颗粒缺陷漏检等问题。

实用新型内容

本实用新型主要解决的技术问题是提供一种光阑以及应用了该光阑的检测装置，旨在避免发生污染、漏检等问题。

根据第一方面，一种实施例中提供一种光阑，包括：

本体件，具有通光通道，所述通光通道用于光束通过；以及

遮光件，以可相对所述本体件转动的方式装设于本体件，所述遮光件被配置为可控地在第一状态和第二状态之间转动切换；

当所述遮光件处于第一状态时，能够使光束的至少部分因所述遮光件的遮挡而无法通过通光通道；

当所述遮光件处于第二状态时，能够解除对光束的遮挡。

一个实施例中，所述遮光件的数量设置为多个，多个所述遮光件按预设间距并排排布于通光通道内，或多个所述遮光件按预设间距并排排布并与通光通道相对布置。

一个实施例中，当相邻两个所述遮光件同时处于第一状态时，相邻两个所述遮光件中一者的边缘抵贴或重叠于另一者的边缘。

一个实施例中，所述遮光件包括遮光片，用于遮挡光束；当所述遮光片垂直于光束的光路时，所述遮光件处于第一状态；当所述遮光片平行于光束的光路时，所述遮光件处于第二状态。

一个实施例中，所述遮光片为金属材料或无机硬质材料制成的薄片状结构。

一个实施例中，还包括机械式驱动件，所述机械式驱动件的动力端耦合至遮光片，用以驱使所述遮光片在第一状态和第二状态之间转动切换。

一个实施例中，还包括电场式驱动件，所述电场式驱动件包括第一电极和第二电极，所述第一电极固定设置于遮光件，所述第二电极沿遮光件的转动轨迹固定设置于预设位置；所述第一电极和第二电极被配置成可选择地接收方向相同或方向相反的电压信号。

一个实施例中，还包括磁场式驱动件，所述磁场式驱动件包括用于产生磁场的通电线圈和用于感应磁场的磁性件，所述通电线圈和磁性件中的一者固定设置于遮光件、另一者沿所述遮光件的转动轨迹固定设置于预设位置。

根据第二方面，一种实施例中提供一种检测装置，包括：

光源模块，被配置为向待测物出射检测光束，以经待测物形成信号光；

光阑模块，布置在所述检测光束的光路上，所述光阑模块包括第一方面所述的光阑；以及

检测模块，被配置为探测所述信号光，并根据所述信号光获取待测物的检测信息。