[实用新型]一种智能特气瓶气体检测装置有效

专利信息
申请号: 202221386506.7 申请日: 2022-06-06
公开(公告)号: CN217654556U 公开(公告)日: 2022-10-25
发明(设计)人: 周礼誉 申请(专利权)人: 上海兄弟微电子技术有限公司
主分类号: G01D21/02 分类号: G01D21/02;G01L19/08;G01M3/04
代理公司: 北京深川专利代理事务所(普通合伙) 16058 代理人: 吴晓丹
地址: 200120 上海市浦东*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 智能 特气瓶 气体 检测 装置
【说明书】:

一种智能特气瓶气体检测装置,包括气体压力检测设备、蓄电池、气体泄漏探测检测设备;还具有探测电路、无线数据发送电路、无线接收提示电路;所述气体压力检测设备的进气端和特气瓶的手动阀门出气端连接;所述探测电路、无线数据发送电路、气体泄漏探测检测设备和第一只蓄电池安装在元件盒A内;所述无线接收提示电路和第二只蓄电池安装在元件盒B内并电性连接。本新型能实时探测特气瓶内气体存量,还能实时监测特气瓶是否发生泄露,在不同气体存量量级、以及气体发生泄漏时,能分别发射不同控制信号,工作人员不在现场就能了解现场各种数据,为特气量减少到一定程度时为生产用气设备更换新的特气瓶,以及及时处理泄漏事故起到了有利技术支持。

技术领域

实用新型涉及检测装置技术领域,特别是一种智能特气瓶气体检测装置。

背景技术

在微电子、光电子器件生产过程中,从芯片生长到最后器件的封装,几乎每一步、每一个环节都离不开特种电子气体(比如HCL、H2、TCA等等不一而论),因此电子气体被称为半导体材料的“粮食”和“源”。电子气体很大程度上决定了半导体器件性能的好坏。

特气使用前都储存在钢瓶内,生产时打开阀门进而为生产设备提供相应的特气。由于特气在钢瓶内压力非常大,受到钢瓶质量以及阀门等配套设备质量的影响,或者工作人员工作疏忽等原因没有关闭完全阀门等时,特气存在泄露的几率,这样不但造成不必要的损失,而且特气具有、有毒有害,或者易燃特性时,还存在很大的安全隐患(比如人员呼吸到有毒有害气体中毒,可燃气体燃烧爆炸等)。现有的技术中,特气瓶没有一种可有效使用的可燃气体探测设备,当发生气体泄漏时,无法对工作人员(比如值班室人员) 进行提示,这样,当相关人员不在现场时就无法第一时间对出现问题的特气瓶进行维护,因而存在事故扩大化的隐患。最后就是,现有的特气瓶工作人员不接近特气瓶观看压力表等显示的存量气体数据时,那么就无法了解到具体气体存量情况,这样,当特气瓶内的气体使用完前,工作人员没有及时更换新的特气瓶时会对使用特气生产的设备工作造成不利影响。综上所述,提供一种能实时检测特气瓶内气体存量,以及发生气体泄漏时能第一时间通过无线方式提示相关人员的装置显得尤为必要。

实用新型内容

为了克服现有特气瓶没有一种适用的气体存量以及气体泄漏探测的设备,存在如背景所述弊端,本实用新型提供了在相关机构及电路共同作用下,能实时检测特气瓶内的气体存量数据,并能实时监测特气瓶是否发生泄露数据,且能在特气量到一定存量时,以及气体发生泄漏时能分别发送无线信号,远端相关人员不在现场情况下,通过身边接收设备能实时接收到各数据信号,进而掌握特气瓶内气体存量数据,以及气体泄漏情况,为特气量减少到一定程度时及时为生产用气设备更换新的特气瓶,以及及时处理泄漏事故起到了有利技术支持的一种智能特气瓶气体检测装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:

一种智能特气瓶气体检测装置,包括气体压力检测设备、蓄电池、气体泄漏检测设备;其特征在在于还具有探测电路、无线数据发送电路、无线接收提示电路;所述气体压力检测设备的进气端和特气瓶的出气端连接;所述探测电路、无线数据发送电路、气体泄漏检测设备和第一只蓄电池安装在元件盒A内;所述无线接收提示电路和第二只蓄电池安装在元件盒B内;所述气体压力检测设备、气体泄漏检测设备的信号输出端和探测电路以及无线数据发送电路的多路信号输入端分别电性连接,探测电路的信号输出端和无线数据发送电路的信号输入端电性连接,第二只蓄电池负极和无线接收提示电路的电源输入端分别电性连接。

进一步地,所述探测电路具有相同的多套,每套包括电性连接的电阻、可调电阻、继电器和NPN三极管, NPN三极管集电极和继电器负极电源输入端连接,电阻一端和可调电阻一端、NPN三极管基极连接,可调电阻另一端和NPN三极管发射极连接。

进一步地,所述无线数据发送电路包括电性连接的无线发射电路模块和继电器,继电器的控制触点端和常开触点端和无线发射电路模块的其中一只无线信号发射按键下两个触点分别连接。

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