[实用新型]一种分体式直拉单晶炉装置

权利要求书

1.一种分体式直拉单晶炉装置，其特征在于，所述装置包括：炉盖、炉体底座、坩埚、主炉腔体、泄压门以及连接件；

其中，所述主炉腔体与所述炉盖和所述炉体底座连接，所述泄压门安装在所述主炉腔体上，可以活动打开，通过所述连接件所述泄压门与所述主炉腔体扣合后形成完整且密封的分体式直拉单晶炉，所述坩埚安装在所述分体式直拉单晶炉内。

2.根据权利要求1所述分体式直拉单晶炉装置，其特征在于，所述泄压门的内表面积占所述主炉腔体总面积的1-50％。

3.根据权利要求1所述分体式直拉单晶炉装置，其特征在于，所述泄压门的内表面积占所述主炉腔体总面积的40-50％。

4.根据权利要求1所述分体式直拉单晶炉装置，其特征在于，所述泄压门的安装位置靠近所述分体式直拉单晶炉中的所述坩埚的安装位置。

5.根据权利要求1所述分体式直拉单晶炉装置，其特征在于，所述装置还包括泄压保护挡板，所述泄压保护挡板为L型，安装在所述主炉腔体上的所述泄压门的开门侧，所述泄压保护挡板将所述泄压门前方的泄压区域与人工操作区域分隔开，以避免从泄压门泄出的高温气流迅速向人工操作区域扩散。

6.根据权利要求1所述分体式直拉单晶炉装置，其特征在于，所述装置还包括密封圈，所述密封圈安装在所述泄压门门框处，用以封堵所述泄压门与所述主炉腔体之间的缝隙。

7.根据权利要求1所述分体式直拉单晶炉装置，其特征在于，所述装置还包括压强感应器，所述压强感应器安装于所述分体式直拉单晶炉中，将所述泄压门扣合后，在所述分体式直拉单晶炉中的压强低于10000Pa的状态下，当检测到所述分体式直拉单晶炉内压强的增长速度大于1000Pa/min时，所述压强感应器发出关门异常报警。

8.根据权利要求1所述分体式直拉单晶炉装置，其特征在于，所述连接件包括铰链合页和锁扣，所述铰链合页安装所述泄压门的固定侧，使所述泄压门固定在所述主炉腔体上，所述锁扣安装在所述泄压门的开门侧，使所述泄压门通过所述锁扣扣合锁紧。

9.根据权利要求1所述分体式直拉单晶炉装置，其特征在于，所述泄压门的材质与厚度同所述主炉腔体的材质与厚度保持一致。