[实用新型]一种高散热性水冷屏结构

说明书

本实用新型公开了一种高散热性水冷屏结构，包括水冷屏主体，水冷屏主体包括直筒段和扩口段，直筒段和扩口段的内壁竖直设置若干冷却槽，冷却槽的内部为中空结构，且中空结构内部设置有循环水道，循环水道的上下两端分别设置有进水口和出水口，进水口和出水口分别与水冷屏的主体水道连通，冷却槽的外壁表面为弧形面，冷却槽的内部截面为半圆形结构，且两端设置有半圆头。该高散热性水冷屏结构中，通过水冷屏内部设置的均匀分布的冷却槽增加了水冷屏的散热面积，冷却水的存在，增加了冷却槽的散热能力，进一步提高了水冷屏的散热能力，进而能进一步提升单晶的等径拉速，可同时满足增加散热面积及提高水冷屏整体的散热能力的优点。

技术领域

本实用新型涉及水冷屏技术领域，具体地说，涉及一种高散热性水冷屏结构。

背景技术

随着单晶行业竞争日趋激烈，只有不断提高单小时产出才能立于不败之地。而等径工序在整炉运行时间中占比70％以上，因此提高等径拉速可有效压缩等径时间提高单产。行业内利用水冷屏来提高等径拉速已普遍推广。

现有水冷屏内壁为环形光滑曲面结构，其目的是便于导流同时可防止表面附着硅渣影响成晶。此结构的设计也导致了其散热面积较小。在加上需要考虑CCD相机捕捉直径及操作人员测量直径的需求，因此水冷屏内壁直径通常较大，距离晶棒较远。上述因素导致现有水冷屏对晶棒的冷却效果有待进一步的提升，晶体生长的等径拉速继续提高已达到瓶颈。为此设计一种可有效对晶棒进行充分冷却的水冷屏，实现等径拉速的不断提高，增加单小时产出，增加行业竞争力。现有水冷屏水冷腔体小，散热面积小冷却效果较差；水冷屏内壁距离晶棒较远，无法对晶棒进行有效冷却，提升等径拉速已达到瓶颈，在不影响CCD相机捕捉的情况下，尽可能的增加水冷屏内表面的散热面积及增强水冷屏的散热能力，则可进一步提升降低单晶表面温度，提高单晶拉速，专利号为CN202121813864的专利中，在水冷屏内部焊接了一定数量的散热片，增加了水冷屏内部的散热面积，但是散热片为实心材质，内部并未通水，在高温下，散热片整体温度较高，使得散热片的散热能力偏低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高散热性水冷屏结构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种高散热性水冷屏结构，包括水冷屏主体，水冷屏主体包括直筒段和扩口段，所述直筒段和扩口段的内壁竖直设置若干冷却槽，所述冷却槽的内部为中空结构，且中空结构内部设置有循环水道，所述循环水道的上下两端分别设置有进水口和出水口，所述进水口和出水口分别与水冷屏的主体水道连通，所述冷却槽的外壁表面为弧形面，所述冷却槽的内部截面为半圆形结构，且两端设置有半圆头。

作为优选，所述直筒段为圆筒形结构，所述扩口段的顶部直径尺寸大于直筒段的直径尺寸。

作为优选，所述冷却槽在直筒段和扩口段的内壁成环形等间距排列设置。

作为优选，所述冷却槽的数量为12-24个。

作为优选，所述冷却槽的顶端距离扩口段的上沿20-50mm，所述冷却槽的底端距离直筒段的下沿10-20mm。

作为优选，所述冷却槽的厚度为5mm，所述循环水道的半径为5-10mm之间。

作为优选，所述循环水道为三个平行设置的通道，且相邻的通道之间首尾相连。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

该高散热性水冷屏结构中，通过水冷屏内部设置的均匀分布的冷却槽增加了水冷屏的散热面积，同时，和散热片方式不同的是，冷却槽内部具有冷却水的循环水道，冷却水的存在，增加了冷却槽的散热能力，进一步提高了水冷屏的散热能力，进而能进一步提升单晶的等径拉速，可同时满足增加散热面积及提高水冷屏整体的散热能力的优点，同时增加了水冷屏的散热面积及散热能力，使得单晶等径拉速有了进一步提升的空间，为高拉速单晶的开发提供了保障。

附图说明