[实用新型]一种测试负载板的锁紧机构

说明书

本实用新型公开了一种测试负载板的锁紧机构，包括固定基板、设置在固定基板上的凸轮导向机构以及设置在固定基板上的测试探针，其特征在于，所述固定基板一侧设置有双阶段定位组件，所述双阶段定位组件包括第一定位件和第二定位件，所述第一定位件长于测试探针，所述测试负载板依次与固定基板的第一定位件和第二定位件配合。通过在固定基板上增设具备初步定位功能的预定位件，配合原本的定位柱形成第一定位件和第二定位件实现双阶段定位，既能避免部件碰撞损坏，又能提高锁紧过程中的精确对位，不会发生定位偏离需要重新解锁再次锁合的情况，有效提升测试工作的安全性和测试质量。

技术领域

本实用新型涉及半导体测试装置技术领域，尤其是涉及一种测试负载板的锁紧机构。

背景技术

在半导体测试行业中，在高规格的ULTRA FLEX测试平台上，通常是在负载测试基板上直接打孔，将负载测试基板直接安装在测试平台上的，不通过其他设备安装固定保护，目前行业内采用常规6061铝板作为测试平台的安装基座，通过凸轮导向机构将负载测试板辅助压紧设置于安装基座上，由于凸轮导向机构能够进行水平运动转Z向运动，因此通过凸轮导向器能够维持负载测试基板在锁紧过程中保持水平。

例如中国专利文献（公告号：CN209387703U）公开了“一种上压式基板测试的通用装置”，支撑框体为上端开口结构，工装电气组和操作面板均设于支撑框体上，凸轮机构水平转动设于支撑框体内，测试固定板固定于支撑框体上端水平开口处，活动翻盖与测试固定板活动链接；导向销和探针组均垂直固定于测试载板上，测试载板通过导向销可上下移动的设于测试固定板与凸轮结构之间；探针组的下端与工装电气组连接，工装电气组与操作面板背部的电路连接并实现测试的观察与控制。

上述方案虽然通过活动翻盖的压针与搭扣锁将待测基板紧压在测试固定板上，但只有测试固定板上的固定块进行定位，仍存在安装待测基板时，待测基板与测试固定板上的测试探针相碰导致双方出现损伤的风险。

发明内容

针对背景技术中提到的负载测试板安装至固定基板时，易出现负载测试板与固定基板板上的测试探针碰撞，从而出现负载测试板划伤或是测试探针损坏的问题，本实用新型提供了一种测试负载板的锁紧机构，通过在固定基板上增设具备初步定位功能的预定位件，实现双阶段定位，避免测试探针与负载测试板的板面碰撞，有效提升测试工作的安全性和测试质量。

本申请的第二发明目的是需要解决由于凸轮导向机构为两平行滑轨同步压紧，因此凸轮导向机构辅助负载测试板进行Z向锁紧至终点时可能出现负载测试板不平行的情况。

本申请的第三发明目的是需要解决负载测试基板锁紧不同步的问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种测试负载板的锁紧机构，包括固定基板、设置在固定基板上的凸轮导向机构以及设置在固定基板上的测试探针，其特征在于，所述固定基板一侧设置有双阶段定位组件，所述双阶段定位组件包括第一定位件和第二定位件，所述第一定位件长于测试探针，所述测试负载板依次与固定基板的第一定位件和第二定位件配合。所述双阶段定位组件中第一定位件用于在测试负载板靠近固定基板时进行初步定位，使得测试探针在未接触到测试负载板前已对准测试负载板上的孔位，确保测试负载板压合至固定基板时，通过第二定位件进行精准定位后，能够避免测试探针与测试负载板产生碰撞。双阶段定位既能避免部件碰撞损坏，又能提高锁紧过程中的精确对位，避免定位偏离需要重新解锁再次锁合的情况。

作为优选，所述第一定位件包括至少两根定位销，所述定位销包括连接于固定基板的基柱，所述基柱远离固定基板的一端设置有预接合柱，所述预接合柱直径小于基柱直径，所述预接合柱与基柱之间设置有导引面。所述定位销包括有锥形导引面，在测试负载板与定位销插接时，以此通过预接合柱、导引面和基柱，利用导引面能够使测试负载板稳定安装，不会出现偏移。