[实用新型]涂布系统

说明书

本实用新型的实施例提出一种涂布系统，所述涂布系统包括涂布组件和清洁组件。所述涂布组件包括涂布液罐、涂布模头、涂布液管道和涂布泵；所述涂布液管道连通所述涂布液罐和涂布模头，所述涂布泵设在所述涂布液管道上，所述清洁组件包括清洁液罐、第一清洁管路和第二清洁管路，所述第一清洁管路连通所述清洁液罐和所述涂布液罐，所述第二清洁管路与所述涂布液管道、所述涂布泵和所述涂布模头中的至少一者连通。因此，根据本实用新型实施例的涂布系统具有清洁效率高的优点。

技术领域

本实用新型涉及光阻应用技术领域，具体涉及一种涂布系统。

背景技术

涂布管路的工作原理为，在恒定的动力下(CDA，氮气)，涂布液(光阻)沿着管路流动，管路各机构通过电磁阀控制开合，后进入涂布模头压出而把涂布液均匀的转移到基板上。相关技术中，清洁组件的清洗液与通过涂布液罐进入涂布液管路系统，最终从涂布模头排出，存在清洗效率低和清洗时间长的问题。

发明内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的实施例提出一种涂布系统。该涂布系统具有清洁效率高的优点。

本实用新型实施例的涂布系统包括涂布组件和清洁组件，所述涂布组件包括涂布液罐、涂布模头、涂布液管道和涂布泵；所述涂布液管道连通所述涂布液罐和涂布模头，所述涂布泵设在所述涂布液管道上，所述清洁组件包括清洁液罐、第一清洁管路和第二清洁管路，所述第一清洁管路连通所述清洁液罐和所述涂布液罐，所述第二清洁管路与所述涂布液管道、所述涂布泵和所述涂布模头中的至少一者连通。例如，所述第二清洁管路连通清洁液罐与涂布液管道；或所述第二清洁管路连通清洁液罐与涂布泵；或者所述第二清洁管路连通清洁液罐与涂布模头。

本实用新型实施例的涂布系统，通过第一清洁管路与涂布液罐连通，再通过第二清洁管路与所述涂布液管道、所述涂布泵和所述涂布模头中的至少一者连通，第二清洁管路中的清洁液不需要再流经涂布液罐，可以缩减第二清洁管路中清洁液的行程。由此，该涂布系统大大提升清洁的效率。

因此，本实用新型实施例的涂布系统具有清洁效率高的优点。

在一些实施例中，所述涂布组件还包括涂布液缓存罐，所述涂布液管道包括第一涂布液管段和第二涂布液管段，所述第一涂布液管段连通所述涂布液缓存罐和所述涂布液罐，所述第二涂布液管段连通所述涂布液缓存罐和所述涂布模头，所述第二清洁管路与所述第一涂布液管段和所述第二涂布液管段中的至少一者连通。

在一些实施例中，所述涂布系统还包括第一控制阀和第二控制阀，所述第一控制阀设在所述第一涂布液管道上，所述第二控制阀设在所述第二涂布液管道上，所述第二清洁管路与所述第一控制阀和所述第二控制阀中的至少一者连通。

在一些实施例中，所述涂布组件还包括过滤器和第三控制阀，所述第一涂布液管段包括第一分管段和第二分管段，所述第一分管段连通所述过滤器和所述涂布液罐，所述第二分管段连通所述过滤器和所述涂布液缓存罐，所述第一控制阀设置在所述第一分管段上，所述第三控制阀设置在所述第二分管段上。

在一些实施例中，所述第二清洁管路有至少两个，至少两个所述第二清洁管路与所述第一分管段、所述过滤器、所述第二分管段、所述涂布液缓存罐、所述第二涂布液管段、所述涂布泵和所述涂布模头中的至少两个一一对应地连通。

在一些实施例中，所述涂布系统还包括废液组件，所述废液组件包括废液罐、第一废液管路和第二废液管路，所述第一废液管路与所述涂布模头连通构成第一回液通路，所述第二废液管路与所述涂布液罐、所述第一涂布液管段、所述涂布液缓存罐、所述第二涂布液管段和所述涂布泵连通构成第二回液通路。

在一些实施例中，所述第二废液管路有至少两个，至少两个所述第二废液管路与所述涂布液罐、所述第一涂布液管段、所述涂布液缓存罐、所述第二涂布液管段和所述涂布泵中的至少两个一一对应地连通。