[实用新型]一种离子成像检测器

权利要求书

1.一种离子成像检测器，包括真空密封CF法兰(1)与真空穿通电极接头(2)，所述真空穿通电极接头(2)设置于真空密封CF法兰(1)上，用于线路的引入，其特征在于，所述真空密封CF法兰(1)的中部设置有开口，所述真空密封CF法兰(1)的开口处安装有有机玻璃(4)，所述有机玻璃(4)的前侧设有有机玻璃密封盖板(3)，有机玻璃密封盖板(3)中部也设置有开口，所述有机玻璃密封盖板(3)通过螺栓与真空密封CF法兰(1)固定连接，对有机玻璃(4)进行固定；所述有机玻璃(4)的后侧设置有信号放大显示模块(5)；

所述信号放大显示模块(5)包括固定底板(51)、荧光屏(52)、第一固定电极片(53)、第二固定电极片(54)、微通道板(55)、MCP高压电极片(56)、MCP接地电极片(57)与固定件(58)，所述固定底板(51)通过螺栓固定于真空密封CF法兰(1)的内部，所述固定底板(51)的后侧设置有荧光屏(52)，所述荧光屏(52)的前后两侧分别设置有第一固定电极片(53)与第二固定电极片(54)，所述第一固定电极片(53)、第二固定电极片(54)均与荧光屏(52)相抵接，对荧光屏(52)进行夹持固定，所述第二固定电极片(54)的后侧设置有微通道板(55)，所述微通道板(55)的前后两侧分别设置有MCP高压电极片(56)与MCP接地电极片(57)，所述MCP高压电极片(56)、MCP接地电极片(57)均与微通道板(55)相抵接，对微通道板(55)进行夹持固定，所述第一固定电极片(53)、第二固定电极片(54)、MCP高压电极片(56)、MCP接地电极片(57)通过固定件(58)固定于固定底板(51)上。

2.根据权利要求1所述的一种离子成像检测器，其特征在于，所述有机玻璃密封盖板(3)的开口内侧设置有一圈环型槽(31)，所述真空密封CF法兰(1)的开口外围设置有一圈环型凹槽(11)，所述环型凹槽(11)与环型槽(31)内均安装有密封环(6)。

3.根据权利要求1所述的一种离子成像检测器，其特征在于，所述微通道板(55)由两MCP(551)与一环型电极垫片(552)组成，两MCP(551)堆叠设置，所述环型电极垫片(552)设置于两MCP(551)之间。

4.根据权利要求1所述的一种离子成像检测器，其特征在于，所述固定件(58)包括固定螺栓(581)、套管(582)与套环(583)，所述套管(582)套接于固定螺栓(581)外侧，所述第一固定电极片(53)、第二固定电极片(54)、MCP高压电极片(56)、MCP接地电极片(57)上均开设有与套管(582)尺寸相匹配的开孔，所述第一固定电极片(53)、第二固定电极片(54)、MCP高压电极片(56)、MCP接地电极片(57)均套于套管(582)上，且相邻电极片之间设置有套环(583)，所述套环(583)套设于套管(582)上。

5.根据权利要求4所述的一种离子成像检测器，其特征在于，所述微通道板(55)与荧光屏(52)的侧壁与套环(583)相抵接。

6.根据权利要求4所述的一种离子成像检测器，其特征在于，所述套环(583)与套管(582)为间隙配合。

7.根据权利要求4所述的一种离子成像检测器，其特征在于，所述固定件(58)至少设置三组。