[实用新型]一种新型料盒电极取放装置

说明书

本实用新型公开了一种新型料盒电极取放装置，包括固定式导轨、伸缩式导轨和料盒电极，所述固定式导轨固定在设备腔体底板上，所述固定式导轨为空心管结构，所述伸缩式导轨插接于固定式导轨；所述料盒电极底部设有行走于固定式导轨和伸缩式导轨的滚轮。本实用新型与现有技术相比的优点是：料盒电极在拆装时可顺着导轨滑动，提高了拆装的安全性和便捷性，导轨对料盒电极具有限位作用，料盒电极在移动过程中不会左右晃动，提高了生产稳定性。

技术领域

本实用新型涉及取放装置，尤其涉及一种新型料盒电极取放装置。

背景技术

在晶圆封装制造的工艺中，等离子体清洗设备是整个生产工艺中不可或缺的设备，随着制造工艺要求的不断提高，对等离子体清洗工艺过程的稳定性要求越来越高。功率电极板作为等离子设备的重要部件，射频功率馈入功率电极板，从而在真空腔体内产生等离子体。

功率电极板分为平板电极和料盒电极两种，其中料盒电极是一体式，电极位置较高，拆装不方便而且重量大，这样在设备保养时拆装电极板就有滑落的风险，可能造成设备损坏或者人员受伤。

通常料盒电极上有4根导电插头，其作用是与射频馈入的电极柱连接，由于料盒电极只有4根插头与电极柱连接，所以料盒电极本身是不稳定的，作业过程中会左右晃动，并且料盒电极在安装的时候会因为左右晃动，不容易将导电插头插入电极柱的小孔中，增加了操作难度。

因此，研发一种新型料盒电极取放装置，成为本领域技术人员亟待解决的问题。

实用新型内容

本实用新型是为了解决上述不足，提供了一种新型料盒电极取放装置。

本实用新型的上述目的通过以下的技术方案来实现：一种新型料盒电极取放装置，包括固定式导轨、伸缩式导轨和料盒电极，所述固定式导轨固定在设备腔体底板上，所述固定式导轨为空心管结构，所述伸缩式导轨插接于固定式导轨；所述料盒电极底部设有行走于固定式导轨和伸缩式导轨的滚轮。

进一步地，所述固定式导轨和伸缩式导轨形状结构相同，均设有U型、半圆型或V型导轨沟槽。

进一步地，所述滚轮为球形滚动轴承，球形滚动轴承安装在料盒电极底部设有的支撑柱上，球形滚动轴承可在固定式导轨和伸缩式导轨的沟槽中滚动，据此能够确保料盒电极的稳定性，使之在导轨上行走时不会左右晃动，伸缩式导轨可以从固定式导轨内部拔出，伸出设备腔体外的距离大于一个料盒电极宽度的尺寸，拆卸料盒电极时可将料盒电极顺着固定式导轨和伸缩式导轨滑动到设备腔体外侧，方便取出。

进一步地，所述固定式导轨和伸缩式导轨均由不锈钢制成。

工作时，当设备需要保养时，将伸缩式导轨从固定式导轨中拔出(当然，伸缩式导轨平常也可放置在设备之外，需要使用时再插接到固定式导轨中)，再将腔体内的料盒电极缓慢拉出，料盒电极的滚轮会顺着导轨沟槽滑动，待全部移出腔体外，即可抬下料盒电极，整个流程安全快捷，料盒电极不会左右晃动，保养完后安装料盒电极时，将料盒电极顺着导轨缓慢推入，直到导电插头插入电极柱形成连接，并且因电极不会左右晃动，导电插头会更精准的插入电极柱，降低安装的困难程度，在正常生产过程中，由于导轨沟槽的限位作用，即使在人为碰撞或者设备震动的影响下，料盒电极也不会有很大的晃动，极大增加了料盒电极的稳定性。

本实用新型与现有技术相比的优点是：料盒电极在拆装时可顺着导轨滑动，提高了拆装的安全性和便捷性，导轨对料盒电极具有限位作用，料盒电极在移动过程中不会左右晃动，提高了生产稳定性。

附图说明

图1是本实用新型的正面结构示意图。

图2是本实用新型的立体结构示意图。

图3是本实用新型的工作过程演示图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型进一步详述。