[实用新型]一种多轴控制液动压高速抛光夹具

说明书

本实用新型属于非接触式抛光加工技术领域，具体涉及一种多轴控制液动压高速抛光夹具，包括基座、X轴间隙调节机构、Y轴角度调节机构、Z轴角度调节机构、固定夹板，所述X轴间隙调节机构、Y轴角度调节机构、Z轴角度调节机构三者相互连接并安装于基座上；所述X轴间隙调节机构沿水平方向X轴位移；所述Y轴角度调节机构垂直于X轴方向绕Y轴方向摆动；所述Z轴角度调节机构用于带动固定夹板绕竖直方向Z轴旋转，所述固定夹板用于夹持加工工件。本实用新型能够实现固定夹板在X、Y、Z三个轴上的高精度控制，从而提升了抛光装置的整体精度。

技术领域

本实用新型属于非接触式抛光加工技术领域，具体涉及一种多轴控制液动压高速抛光夹具。

背景技术

进入二十一世纪以来，微电子技术、现代光学等技术领域取得了飞速的发展，对所需材料表面质量的要求越来越高。例如，半导体元件衬底表面的缺陷、损伤和表面粗糙度可以延伸至外延层，进而影响半导体器件的性能，获得具有高质量表面的衬底对提高半导体元件性能具有重要意义；为达到现代光学系统高精度成像要求，要求光学透镜具有纳米级表面粗糙度、较高的形状精度和极低的表面损伤。随着超光滑表面应用的日益广泛，超光滑表面及其加工技术随之受到发展和重视。

在现代常见的抛光加工过程中可分为：直接接触抛光、准接触抛光和非接触抛光。高速液动压抛光则是在原先非接触抛光基础上提出的一种新型加工方式，其主要特征是：工件都全浸没在抛光液中，通过加工工具高速旋转在加工工具和工件之间产生液动压力，使磨粒不断冲击工件表面，来实现工件的超光滑表面加工。通过这种方式加工出来的工件有着极小的表面粗糙度，尽可能小的表面和亚表面损伤、表层具有完整的晶格结构，极小的表面残余应力。

现如今随着高速液动压抛光加工装置整体的不断缩小，加工过程中工件与加工工具之间的间隙要求往往达到了微米级别的精度。一些极为细微的角度或者距离差异对加工工件表面也会造成巨大的影响，所以一种更为精准的控制工件与加工工具之间相对状态的夹具对高速液动压抛光及非接触抛光具有十分重要的科学意义和实用价值。

现有的极少数能够用于多轴控制液动压高速抛光的夹具在精度方面都略显不足，而精度高的夹具却往往不能适用高速抛光。

实用新型内容

基于现有技术中存在的上述不足，本实用新型提供一种多轴控制液动压高速抛光夹具。

为了达到上述实用新型目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种多轴控制液动压高速抛光夹具，包括基座、X轴间隙调节机构、Y轴角度调节机构、Z轴角度调节机构、固定夹板，所述X轴间隙调节机构、Y轴角度调节机构、Z轴角度调节机构三者相互连接并安装于基座上；所述X轴间隙调节机构沿水平方向X轴位移；所述Y轴角度调节机构垂直于X轴方向绕Y轴方向摆动；所述Z轴角度调节机构用于带动固定夹板绕竖直方向Z轴旋转，所述固定夹板用于夹持加工工件。

作为优选方案，Z轴角度调节机构包括第一支撑座、旋转平台、第一调节杆、第一紧固件；所述旋转平台转动连接于第一支撑座并绕竖直方向Z轴旋转；所述第一调节杆设置于第一支撑座用于带动旋转平台旋转；所述第一紧固件设置于第一支撑座用于锁定旋转平台。

作为优选方案，X轴间隙调节机构包括第二支撑座、滑移座、第二调节杆、第二紧固件；所述滑移座沿X轴水平方向滑移连接于第二支撑座；所述第二调节杆设置于第二支撑座用于带动滑移座位移；所述第二紧固件设置于第二支撑座用于固定滑移座。

作为优选方案，Y轴角度调节机构包括第三支撑座、摆动座、第三调节杆、第三紧固件；所述摆动座绕Y轴方向转动连接于第三支撑座；所述第三调节杆设置于第三支撑座用于带动摆动座摆动；所述第三紧固件设置于第三支撑座用于锁定摆动座。

作为优选方案，Z轴角度调节机构位于X轴间隙调节机构上侧并与固定夹板固定连接；所述Y轴角度调节机构位于X轴间隙调节机构下侧。