[实用新型]一种酸槽排风量可调型抽风装置

说明书

本实用新型涉及一种抽风装置，具体涉及一种酸槽排风量可调型抽风装置。本装置包括：箱体，内部设置有气腔；进气管，用于连通气腔与酸槽；抽风管，一端连接气腔，另一端连接负压源；抽风管开关机构，位于气腔内，用于封堵或开启抽风管。本实用新型的有益效果是，本实用新型的酸槽排风量可调型抽风装置的箱体内部设置有气腔，具有连通酸槽的进气管，以及与负压源连通的抽风管，抽风管开关机构可以开启抽风管，通过外接的负压源通过抽风管对酸槽中产生的酸气进行抽吸。

技术领域

本实用新型涉及一种抽风装置，具体涉及一种酸槽排风量可调型抽风装置。

背景技术

一般来说，晶圆清洗可以分为湿法清洗和干法清洗。干法清洗使用气相化学物，一般通过提供激发能量促进化学反应进行经验清洗，其中能量可以以热、等离子或是辐射等形态提供。而常用的湿法清洗则使用液态化学品，例如溶剂、酸、接口活性剂及水，以喷洒、刷洗、氧化、刻蚀等方法溶剂污染物。在使用各种化学品以后通常还需要经过超高纯水的润湿清洗。

在半导体晶圆清洗过程中由于经常会用到有机药液，而有机药液易燃易爆，因此，在清洗中要及时将酸气吸收并排放，需要一种抽风装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种酸槽排风量可调型抽风装置，以便于对半导体晶圆清洗过程中产生的酸气进行排放。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种酸槽排风量可调型抽风装置，包括：箱体，内部设置有气腔；进气管，用于连通气腔与酸槽；抽风管，一端连接气腔，另一端连接负压源；抽风管开关机构，位于气腔内，用于封堵或开启抽风管。

进一步的，所述抽风管开关机构包括：舱门，用于封堵抽风管；直线驱动器，其固定端安装在气腔内侧，活动端连接所述舱门；关闭抽风时，所述直线驱动器将舱门顶至抽风管的内孔处。

进一步的，所述进气管的数量至少为两个；各所述进气管上均设置有阀门。

进一步的，所述阀门为手动阀门。

进一步的，所述阀门还包括：控制模块，以及与该控制模块电性连接的气体传感器；所述阀门为由控制模块控制的电动阀门；所述控制模块适于根据气体传感器获取的酸槽气体浓度，控制阀门开闭。

进一步的，所述气腔的底部设置有废液排放口。

进一步的，所述废液排放口呈漏斗状。

进一步的，所述气腔内位于进气管的内口处设置有冷凝器。

进一步的，所述冷凝器包括：梨形冷凝部；介质输送管，用于将梨形冷凝部与换热装置连通。

进一步的，所述箱体的下方边缘两侧固定有支撑架。

本实用新型的有益效果是，本实用新型的酸槽排风量可调型抽风装置的箱体内部设置有气腔，具有连通酸槽的进气管，以及与负压源连通的抽风管，抽风管开关机构可以开启抽风管，通过外接的负压源通过抽风管对酸槽中产生的酸气进行抽吸。

本实用新型的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点在说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型的一种酸槽排风量可调型抽风装置的立体图；