[实用新型]一种钟罩清洗用喷淋系统

说明书

本实用新型涉及一种钟罩清洗用喷淋系统，包括喷淋盒组件、用来驱动喷淋盒组件进行升降运动的驱动组件，喷淋盒组件包括框体、清洗板，框体的底部设置有与框体内腔相连通的出口，清洗板的底部安装有多个喷头，驱动组件包括直线往复驱动装置、安装板、安装在安装板与清洗板之间且用来限定喷淋盒组件上下运动方向的滑轨、安装在直线往复驱动装置往复端的杆端关节轴承、滑板、与滑板呈相对滑动设置的滑套，滑套的中部设置有与滑板的边部呈间隙配合的滑槽。所述钟罩清洗用喷淋系统能够对钟罩的内壁进行喷淋清洗，清洗效果好，操作简单方便，能够适用于多种不同高度的钟罩，应用范围广，综合利用率高。

技术领域

本实用新型涉及一种钟罩清洗用喷淋系统，属于半导体行业外延钟罩清洗设备技术领域。

背景技术

目前，对半导体外延石英炉管钟罩的清洗通常都是对其内表面进行清洗，清洗方法通常选用喷淋式清洗，如使用高压水流(清洗液)对钟罩内表面进行冲洗，再进行烘干；又如授权公告号为CN101352714B“一种组合式钟罩清洗机及其操作方法”中所使用的喷淋组件。

上述清洗方法，存在以下缺陷：

只适用大小、型号固定的钟罩，一旦发生尺寸的变化，就需要对上下密封装置进行适应性调整，更换对应的配件，操作繁琐。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术存在的不足，提供了一种钟罩清洗用喷淋系统，具体技术方案如下：

一种钟罩清洗用喷淋系统，包括喷淋盒组件、用来驱动喷淋盒组件进行升降运动的驱动组件，所述喷淋盒组件包括框体、清洗板，所述清洗板固定安装在框体的顶部并构成盒状结构，所述框体的底部设置有与框体内腔相连通的出口，所述清洗板的底部安装有多个喷头，所述清洗板为中空结构；所述驱动组件包括直线往复驱动装置、安装板、安装在安装板与清洗板之间且用来限定喷淋盒组件上下运动方向的滑轨、安装在直线往复驱动装置往复端的杆端关节轴承、滑板、与滑板呈相对滑动设置的滑套，所述杆端关节轴承的杆端与直线往复驱动装置的往复端转动连接，所述杆端关节轴承的轴承端与滑板的中部转动连接，所述滑套的下端与清洗板的顶部固定连接，所述滑套的中部设置有与滑板的边部呈间隙配合的滑槽。

作为上述技术方案的改进，所述直线往复驱动装置固定安装在安装板的中部，所述安装板与清洗板之间固定安装有两组圆柱螺旋弹簧，两组圆柱螺旋弹簧分别设置在直线往复驱动装置的左右两侧。

作为上述技术方案的改进，所述滑板与清洗板之间固定安装有多根压簧，所述压簧设置在滑槽的内部。

作为上述技术方案的改进，所述直线往复驱动装置是气缸、液压缸、直线电机中的一种。

作为上述技术方案的改进，所述框体的底部还设置有用来安装密封圈的环形槽。

本实用新型所述钟罩清洗用喷淋系统能够对钟罩的内壁进行喷淋清洗，清洗效果好，操作简单方便，能够适用于多种不同高度的钟罩，应用范围广，综合利用率高。

附图说明

图1为本实用新型所述钟罩清洗用喷淋系统的结构示意图；

图2为本实用新型所述钟罩清洗用喷淋系统的内部示意图；

图3为本实用新型所述钟罩清洗用喷淋系统对钟罩进行喷淋清洗时的示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。