[实用新型]一种钟罩喷淋清洗排风系统

说明书

本实用新型涉及一种钟罩喷淋清洗排风系统，包括安装在排风通道上部的辅助排风阀、钟罩专用调节阀、安装在排风通道下部的主排风阀，钟罩专用调节阀设置在辅助排风阀与主排风阀之间，钟罩专用调节阀的输出端与排风通道的内腔连通，辅助排风阀的输出端与排风通道的内腔连通，主排风阀的输出端与排风通道的内腔连通。本实用新型所述钟罩喷淋清洗排风系统通过设置主排风阀、辅助排风阀、钟罩专用调节阀来对钟罩喷淋清洗过程中产生的内、外废气进行排风处理，排风效果好，解决了现有排风过程中钟罩内、外气压不平衡的缺陷，实施效果好，有助于延长钟罩的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及一种钟罩喷淋清洗排风系统，属于半导体行业外延钟罩清洗设备技术领域。

背景技术

目前，对钟罩的清洗通常都是对其内表面进行清洗，清洗方法有采用自动高压清洗装置——即使用高压水流(清洗液)对钟罩内表面进行冲洗，再进行烘干。采用喷淋清洗的方式，如授权公告号为CN101352714B“一种组合式钟罩清洗机及其操作方法”。

上述2种清洗方法，在钟罩清洗过程中，尤其是结束清洗时，都需要用到压缩空气，这也就使得清洗过程中，必须要进行排风从而将含有清洗液滴的气体排出。在同类设备中，常使用百叶阀进行排风，如上海深荣阀门有限公司的手动方形百叶阀；百叶阀操作简单方便，排风效果好。

但是，由于百叶阀的排风量控制较差，因此，对于流量较小的区域控制力度弱，如位于钟罩上方空间。另外，为最大限度避免排风出来的废液滴飞溅到钟罩的外壁，从而导致钟罩损伤；钟罩都会外接一根排风管，排风管的尾端一般直连相关排风阀；但是这种操作易造成钟罩内、外气压不平衡，从而降低因为内、外气压差较大带来的清洗不良、对钟罩外壁造成的污染、以及损坏。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术存在的不足，提供了一种钟罩喷淋清洗排风系统，具体技术方案如下：

一种钟罩喷淋清洗排风系统，安装在排风通道的外部，包括安装在排风通道上部的辅助排风阀、钟罩专用调节阀、安装在排风通道下部的主排风阀，所述钟罩专用调节阀设置在辅助排风阀与主排风阀之间，所述钟罩专用调节阀的输出端与排风通道的内腔连通，所述辅助排风阀的输出端与排风通道的内腔连通，所述主排风阀的输出端与排风通道的内腔连通。

作为上述技术方案的改进，所述钟罩专用调节阀包括圆管状阀体、与阀体输入端连接为一体的延长管、用来调节阀体内部开度的舌板，所述舌板与阀体之间通过设置转轴转动连接，所述转轴的末端安装有位于阀体外部的把手，所述阀体输出端与排风通道的侧壁之间安装有基板，所述排风通道的侧壁设置有与阀体内腔相连通的第一通孔。

作为上述技术方案的改进，所述延长管的横截面为腰圆形。

作为上述技术方案的改进，所述延长管的下部设置有横截面为弧形的引流板，所述引流板安装在延长管的末端。

作为上述技术方案的改进，所述辅助排风阀包括圆盘，所述圆盘设置有多个第二通孔，所述排风通道的侧壁设置有与第二通孔呈一一对应的第三通孔，所述圆盘与排风通道的侧壁转动连接。

作为上述技术方案的改进，所述圆盘与排风通道的侧壁之间安装有铆钉。

作为上述技术方案的改进，所述第二通孔和第三通孔均设置有三个。

本实用新型所述钟罩喷淋清洗排风系统通过设置主排风阀、辅助排风阀、钟罩专用调节阀来对钟罩喷淋清洗过程中产生的内、外废气进行排风处理，排风效果好，解决了现有排风过程中钟罩内、外气压不平衡的缺陷，实施效果好，有助于延长钟罩的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型所述钟罩喷淋清洗排风系统与排风通道的安装示意图；

图2为本实用新型所述钟罩专用调节阀的结构示意图；

图3为本实用新型所述辅助排风阀的结构示意图。