[实用新型]一种多层多孔喷射式保护气输入方式的石墨炉

权利要求书

1.一种多层多孔喷射式保护气输入方式的石墨炉，包括炉体，炉体顶部设置有环形上部气路模块，所述炉体底部设置有环形下部气路模块，所述下部气路模块还与退火管连接，其特征在于，所述环形上部气路组件顶部设置有上炉口石英盖，所述上炉口石英盖中部开设有预制棒过孔，所述环形上部气路模块内设置有环形上气封腔和环形主进气腔，所述环形上气封腔与环形上部气路模块的内壁之间设置有多个第一水平出气孔，所述环形主进气腔与环形上部气路模块的内壁之间设置有多个斜向出气孔，多个斜向出气孔呈圆锥状排布，所述环形下部气路模块内设置有环形下气封腔，所述环形下气封腔与环形下部气路模块的内壁之间设置有多个第二水平出气孔。

2.如权利要求1所述的多层多孔喷射式保护气输入方式的石墨炉，其特征在于，所述环形下部气路模块包括环形外圈和环形内圈，所述环形外圈套设在环形内圈外部，所述环形外圈和环形内圈顶部设置有上封盖并配合形成环形上气封腔，所述环形外圈和环形内圈底部与炉体对应部分配合形成环形主进气腔，所述环形内圈底部设置有锥形面，多个斜向出气孔设置在锥形面表面，所述第一水平出气孔设置在环形内圈的上部。

3.如权利要求2所述的多层多孔喷射式保护气输入方式的石墨炉，其特征在于，所述环形内圈底部与炉体对应部分之间设置有扁平垫圈。

4.如权利要求1所述的多层多孔喷射式保护气输入方式的石墨炉，其特征在于，所述环形上部气路模块顶部设置有上炉口临时密封套，所述上炉口临时密封套顶部设置有中空压盖并配合形成水平导向滑槽，所述水平导向滑槽内设置有第一隔离封板，所述上炉口石英盖设置在中空压盖表面。

5.如权利要求4所述的多层多孔喷射式保护气输入方式的石墨炉，其特征在于，所述中空压盖表面设置有台阶口，所述台阶口上设置有石英套，所述上炉口石英盖设置在石英套顶部，所述上炉口石英盖底面上设置有与石英套配合卡接的定位槽。

6.如权利要求1所述的多层多孔喷射式保护气输入方式的石墨炉，其特征在于，所述炉体与直角支架连接。

7.如权利要求6所述的多层多孔喷射式保护气输入方式的石墨炉，其特征在于，所述炉体底部设置有活动平台，所述直角支架至少三个侧边上设置有定位板，所述定位板上设置有定位调节螺钉，定位调节螺钉通过抵触活动平台对炉体位置进行调节。

8.如权利要求7所述的多层多孔喷射式保护气输入方式的石墨炉，其特征在于，直角支架的每个侧边上的定位板数量至少为2。

9.如权利要求7所述的多层多孔喷射式保护气输入方式的石墨炉，其特征在于，所述退火管底部设置有第二隔离封板。