[实用新型]一种用于氯硅烷提纯的精馏系统

说明书

本实用新型涉及氯硅烷提纯技术领域，尤其涉及一种用于氯硅烷提纯的精馏系统，第一精馏塔的出液口与第一再沸器的冷介质入口连通；第一再沸器的冷介质出口与第一精馏塔的气体入口连通；第一再沸器的热介质入口与蒸汽供给管道连通；第二精馏塔的出液口与第二再沸器的冷介质入口连通；第二再沸器的冷介质出口与第二精馏塔的气体入口连通；第二再沸器的热介质入口与第一精馏塔的气相出口连通；第二再沸器的热介质出口与第一精馏塔的回流液体入口连通；第三精馏塔的出液口与第三再沸器的冷介质入口连通；第三再沸器的冷介质出口与第三精馏塔的气体入口连通，第三再沸器的热介质入口与第一再沸器的热介质出口连通。采用本实用新型能够节能降耗。

技术领域

本实用新型涉及氯硅烷提纯技术领域，尤其涉及一种用于氯硅烷提纯的精馏系统。

背景技术

三氯氢硅是改良西门子法工艺生产多晶硅的主要原料，其在生产多晶硅的过程中反应不完全，部分转化为四氯化硅与二氯二氢硅两种副产物，形成氯硅烷混合物。生产多晶硅对三氯氢硅的纯度要求极高，需要使用精馏技术将三氯氢硅与四氯化硅、二氯二氢硅进行分离并提纯。现有技术中的精馏设备能耗高，每台精馏塔都需要消耗加热蒸汽与冷媒；而且，回流的蒸汽凝液热水温度高，热能利用不充分，高温蒸汽冷凝液在输送过程中，高温冷凝液闪蒸，管道气液夹带易引起管道震动，严重时会造成管道撕裂，不利于安全稳定生产。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种用于氯硅烷提纯的精馏系统，主要目的在于节能降耗，保障安全稳定生产。

为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：

本实用新型的实施例提供一种用于氯硅烷提纯的精馏系统，包括:第一精馏塔组件、第二精馏塔组件和第三精馏塔组件；

所述第一精馏塔组件包括：第一精馏塔和第一再沸器；所述第一精馏塔的出液口与所述第一再沸器的冷介质入口连通；所述第一再沸器的冷介质出口与所述第一精馏塔的气体入口连通；所述第一再沸器的热介质入口与蒸汽供给管道连通；

所述第二精馏塔组件包括：第二精馏塔和第二再沸器；所述第二精馏塔的出液口与所述第二再沸器的冷介质入口连通；所述第二再沸器的冷介质出口与所述第二精馏塔的气体入口连通；所述第二再沸器的热介质入口与所述第一精馏塔的气相出口连通；所述第二再沸器的热介质出口与辅助冷凝器一的入口连通；所述辅助冷凝器一的出口与所述第一精馏塔的回流液体入口连通；

所述第三精馏塔组件包括：第三精馏塔和第三再沸器；所述第三精馏塔的出液口与所述第三再沸器的冷介质入口连通；所述第三再沸器的冷介质出口与所述第三精馏塔的气体入口连通；所述第三再沸器的热介质入口与所述第一再沸器的热介质出口连通；所述第三再沸器的热介质出口与蒸汽回流管道连通。

进一步地，所述第二精馏塔组件为至少两个；至少两个所述第二精馏塔组件中的所述第二再沸器的热介质入口分别与所述第一精馏塔的气相出口连通；所述第二再沸器的热介质入口通过管道一与所述第一精馏塔的气相出口连通；所述管道一与所述第二再沸器的热介质入口一一对应设置；所述管道一上设置有控制阀一。

进一步地，所述第三精馏塔组件为至少两个；至少两个所述第三精馏塔组件中的所述第三再沸器的热介质入口分别与所述第一再沸器的热介质出口连通；所述第三再沸器的热介质入口通过管道二与所述第一再沸器的热介质出口连通；所述管道二与所述第三再沸器的热介质入口一一对应设置；所述管道二上设置有控制阀二。

进一步地，所述管道二上连通有管道三；所述管道三上设置有控制阀三；

所述第一再沸器的冷介质入口通过管道四与所述第一精馏塔的出液口连通。

进一步地，所述辅助冷凝器一的出口通过管道五与所述第一精馏塔的回流液体入口连通；所述管道五上设置有控制阀五；所述管道五上连通有管道六；所述管道六上设置有控制阀六。