[实用新型]一种含氟酸性废液高效回用装置有效

专利信息
申请号: 202220816187.2 申请日: 2022-04-11
公开(公告)号: CN217077210U 公开(公告)日: 2022-07-29
发明(设计)人: 陆朝霞;黄清云;宋怡 申请(专利权)人: 苏州市晶协高新电子材料有限公司
主分类号: C02F9/04 分类号: C02F9/04;C02F1/44;C02F1/52;C01B7/19;C02F101/14
代理公司: 苏州瞪羚知识产权代理事务所(普通合伙) 32438 代理人: 张宇
地址: 215151 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 酸性 废液 高效 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种含氟酸性废液高效回用装置,包括纳滤膜管的进液口与废液罐相通,纳滤膜管的产水口与回收液储罐相通,纳滤膜管的浓液出口与絮凝沉淀罐进液口相通,絮凝沉淀罐顶部设置有储药罐,絮凝沉淀罐的进液口处设置电磁阀,储药罐与絮凝沉淀罐之间设置有闸板阀,絮凝沉淀罐上部设置有出水管,出水管上设置有三通阀,三通阀一端与絮凝沉淀罐的进液口相通,絮凝沉淀罐的出水口与三通阀间设置有水质监测器连接,水质监测器通过控制器与三通阀通信连接,絮凝沉淀罐底部设置有污泥排放口。本实用可有效回收氢氟酸、降低石灰的投加量,进而减少污泥产量,大大降低企业的综合处理成本,实现节能环保。

技术领域

本实用新型属于废水处理技术领域,具体涉及一种含氟酸性废液高效回用装置。

背景技术

随着半导体、液晶行业的迅猛发展,蚀刻工艺大量使用氢氟酸溶液,进而产生大量的含氟酸性废液,针对该废液传统的处理方式主要采用石灰中和沉淀,产生的含氟污泥只能委外处理,而沉淀出水也往往无法达标排放,大大增加企业的环保处理成本。

现有处理方式采用扩散渗析的方式,氢氟酸回收率较低,且废液量不变,后续少量氢氟酸废水无良好的处理方式。

实用新型内容

针对上述现有技术,本实用新型提供一种含氟酸性废液高效回用装置,以解决现有含氟酸性废液处理装置存在的氢氟酸回收率低、废液量大、处理成本高的问题。

为了达到上述目的,本实用新型所采用的技术方案是:提供一种

本实用采取上述技术方案的有益效果是:包括纳滤膜管,纳滤膜管的进液口与废液罐相通,纳滤膜管的产水口与回收液储罐相通,纳滤膜管的浓液出口与絮凝沉淀罐进液口相通,絮凝沉淀罐顶部设置有储药罐,絮凝沉淀罐的进液口处设置电磁阀,储药罐与絮凝沉淀罐之间设置有闸板阀,絮凝沉淀罐上部设置有出水管,出水管上设置有三通阀,三通阀一端与絮凝沉淀罐的进液口相通,絮凝沉淀罐的出水口与三通阀间设置有水质监测器连接,水质监测器通过控制器与三通阀通信连接,絮凝沉淀罐底部设置有污泥排放口。

在上述技术方案的基础上,本实用新型还可以做如下改进。

进一步,纳滤膜管与废液罐间设置有管道过滤器。

再进一步,管道过滤器与纳滤膜管之间设置有精度为5-10um的保安过滤器。

再进一步,保安过滤器与纳滤膜管之间设置有冷凝装置。

具体地,冷凝装置为冷凝套管,冷凝套管靠近纳滤膜管一侧为进水口。

进一步,废液罐出液口设置有防腐增压泵。

进一步,纳滤膜管设置多个,多个纳滤膜管并联设置。

本实用新型的有益效果是:

1、本实用的装置通过管道过滤器、保安过滤器去除杂质,使其达到纳滤膜管的进液标准,再通过冷凝装置控制温度,延长了纳滤膜的使用寿命,降低了成本。

2、经过初步处理的含氟酸性废液再进入纳滤膜管内,通过特殊材质的纳滤膜对一价氟离子进行回收再利用,产水口含有氢氟酸等,回收率高、氢氟酸纯度高,浓液出口含有残余废液杂质及少量氟化物,含氟酸性废液量大大降低。设置多个并联的纳滤膜管可加大处理量、加快处理速度。

3、采用氟化钙晶种处理废液中残余的氟化物,通过控制废液量与氯化钙用量,提高氯化钙的初始浓度,生成氟化钙晶种,通过增加沉淀反应速率的方式进行絮凝沉淀,降低石灰的投加量,提高氟化物的去除率,进而使含氟酸性废液经处理后氟化物指标可以达标排放,同时部分氢氟酸可高品质回收回用,大大降低企业的综合处理成本,实现节能环保。

附图说明

图1为本实用的结构示意图;

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