[实用新型]一种多功能气体质谱仪

权利要求书

1.一种多功能气体质谱仪，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)顶部设置有多功能质谱仪主体(2)，所述多功能质谱仪主体(2)一侧设置有质谱仪气室(3)，所述质谱仪气室(3)顶部和内部设置有清理机构；

所述清理机构包括风机(4)，所述风机(4)一端连接有连接风管(5)，所述连接风管(5)外侧设置有第一气阀(6)，所述连接风管(5)一端连接有第一气体输入管(7)，所述第一气体输入管(7)外侧设置有第二气阀(8)，所述第一气体输入管(7)底部连接有中空旋转轴(9)，所述中空旋转轴(9)底部连接有第二气体输入管(10)，所述第二气体输入管(10)外侧设置有大齿轮(11)，所述大齿轮(11)一侧设置有小齿轮(12)，所述小齿轮(12)底部设置有电机(13)，所述第二气体输入管(10)底部连接有出气管(14)，所述出气管(14)内部设置有气腔(15)，所述出气管(14)顶部和底部表面均开设有出气孔(16)，所述质谱仪气室(3)一侧安装有真空气泵(18)，所述真空气泵(18)一端设置有抽气管(19)。

2.根据权利要求1所述的一种多功能气体质谱仪，其特征在于：所述风机(4)设置在质谱仪气室(3)顶部，所述真空气泵(18)和质谱仪气室(3)均安装在底板(1)顶部。

3.根据权利要求1所述的一种多功能气体质谱仪，其特征在于：所述抽气管(19)一端贯穿质谱仪气室(3)并延伸至质谱仪气室(3)内部，所述第二气体输入管(10)底部依次贯穿质谱仪气室(3)和出气管(14)并延伸至出气管(14)内部。

4.根据权利要求1所述的一种多功能气体质谱仪，其特征在于：所述大齿轮(11)与小齿轮(12)啮合，所述电机(13)安装在质谱仪气室(3)顶部，所述小齿轮(12)设置在电机(13)输出端。

5.根据权利要求1所述的一种多功能气体质谱仪，其特征在于：所述出气孔(16)数量设置为多个，所述出气管(14)两端均设置有喷气头(17)，所述喷气头(17)一端贯穿出气管(14)并延伸至气腔(15)内部。

6.根据权利要求1所述的一种多功能气体质谱仪，其特征在于：所述第二气体输入管(10)外侧安装有电磁气阀(20)，所述电磁气阀(20)设置在大齿轮(11)与出气管(14)之间。