[实用新型]一种保温石英纤维软领

说明书

本申请涉及一种保温石英纤维软领，其包括：内层、外层、中间层和隔断层；内层和外层通过缝纫线缝合成筒状结构；中间层设置有多层，并位于内层和外层之间，中间层为石英纤维棉；相邻两个中间层之间设置有隔断层；中间层和隔断层均通过缝纫线缝合在内层和外层上。本实用新型相较于现有产品具有更高的结构强度，由于提供了石英纤维针刺毡作为强度支撑，其拥有更高的贴合度和结构韧性，由于隔断层的存在，石英纤维棉的铺设均匀性更好，因此保温效果更好，更有利于半导体制造，填充到扩散炉炉口时不易出现塌陷和变形，填充贴合度好，使用寿命长，可有效提升炉体保温效果，提升半导体加工品质。

技术领域

本申请涉及半导体制造领域，特别涉及一种保温石英纤维软领。

背景技术

保温软领是一种应用于半导体制造领域的保温护套，用在扩散炉炉口处，对扩散炉起到保温的作用，要达到高的保温效果，且使用安全、方便，保温软领中所采用的保温材料应满足以下要求：

(1)具有良好的密封性和隔热性，当保温材料的密封性和隔热性较差时，炉体热量容易散失，进而导致炉体内温度不均匀，不仅浪费能量，还会影响衬底的扩散条件，影响半导体产品的品质；

(2)无污染：对产品无污染，对员工身体健康无影响；

(3)安装方便：减少停机更换时间，提高生产效率；

(4)保温材料的使用寿命应尽量长。

相关技术中，石英软领内部直接填充石英棉，石英棉本身较为柔软，支撑效果差，长时间使用时内部石英棉容易产生局部塌陷和变形，造成保温效果下降，影响使用。

发明内容

本申请实施例提供一种保温石英纤维软领，以解决相关技术中石英软领内部直接填充石英棉，支撑效果差，长时间使用时内部石英棉容易产生局部塌陷和变形，造成保温效果下降，影响使用的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种保温石英纤维软领，其包括：内层、外层、中间层和隔断层；内层和外层通过缝纫线缝合成筒状结构，内层和外层均为石英纤维布，且石英纤维布采用表面浸有环氧型浸润剂的石英纤维纱制成；中间层设置有多层，并位于内层和外层之间，中间层为石英纤维棉；相邻两个中间层之间设置有隔断层，隔断层为石英纤维针刺毡；中间层和隔断层均通过缝纫线缝合在内层和外层上；缝纫线为石英纤维缝纫线。

一些实施例中，石英纤维缝纫线采用表面涂覆有聚四氟乙烯乳液的石英纤维纱制成。

一些实施例中，石英纤维布的厚度为0.2～1.0毫米。

一些实施例中，石英纤维布的厚度为0.5～0.7毫米。

一些实施例中，石英纤维棉的直径为3～11微米。

一些实施例中，石英纤维棉的直径为5～9微米。

一些实施例中，石英纤维棉单层厚度为5～30mm。

一些实施例中，石英纤维针刺毡厚度为3～10毫米。

一些实施例中，石英纤维针刺毡厚度为5毫米。

一些实施例中，石英纤维布的表面结构为缎纹、斜纹或平纹。

本申请提供的技术方案带来的有益效果包括：

本申请实施例提供了一种保温石英软领，相较于现有产品，本实用新型保温石英软领具有更高的结构强度，由于提供了石英纤维针刺毡作为强度支撑，其拥有更高的贴合度和结构韧性，由于隔断层的存在，石英纤维棉的铺设均匀性更好，因此保温效果更好，更有利于半导体制造，填充到扩散炉炉口时不易出现塌陷和变形，填充贴合度好，使用寿命长，可有效提升炉体保温效果，提升半导体加工品质。

附图说明