[实用新型]一种八极永磁体结构天线内置式RF离子源有效
| 申请号： | 202220658635.0 | 申请日： | 2022-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN217562512U | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 白晓厚;王俊润;姚泽恩;张宇;韦峥;卢小龙;徐大鹏;马占文;刘昌奇 | 申请（专利权）人： | 兰州大学 |
| 主分类号： | H01J27/18 | 分类号： | H01J27/18;H01Q1/22 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 苟莉 |
| 地址： | 730000 甘肃*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 永磁体 结构 天线 内置 rf 离子源 | ||
1.一种八极永磁体结构天线内置式RF离子源，包括放电腔体(23)、RF内置天线(10)、馈入端磁场线包(11)、引出端磁场线包(14)、八极永磁体(13)、束流引出端封装组件、屏蔽罩(1)、进气孔(5)和冷却系统，其特征在于：所述放电腔体(23)前端设置有馈入端封闭板(8)，放电腔体(23)内部设置有RF内置天线(10)，放电腔体(23)外侧壁上设置有磁场线包支架(21)，磁场线包支架(21)内部从前端到尾端依次设置有馈入端磁场线包(11)、八极永磁体(13)和引出端磁场线包(14)，所述放电腔体(23)的尾端可拆卸安装有束流引出端封装组件，束流引出端封装组件的外沿处通过引出端磁轭(15)固定连接有屏蔽罩(1)。
2.根据权利要求1所述的一种八极永磁体结构天线内置式RF离子源，其特征在于：所述束流引出端封装组件由钼制引出板(18)、一级固定封装法兰(20)和二级固定封装法兰(17)组成，钼制引出板(18)位于放电腔体(23)尾端内部，钼制引出板(18)的中间位置上设置有束流引出孔(19)，钼制引出板(18)的外沿处卡合设置有引出端磁轭(15)，引出端磁轭(15)可拆卸固定设置在放电腔体(23)上，所述一级固定封装法兰(20)通过二级固定封装法兰(17)安装固定在引出端磁轭(15)上。
3.根据权利要求2所述的一种八极永磁体结构天线内置式RF离子源，其特征在于：所述钼制引出板(18)靠近RF内置天线一端的内壁为倾斜状，且其与放电腔体(23)内壁之间的夹角为100°。
4.根据权利要求1所述的一种八极永磁体结构天线内置式RF离子源，其特征在于：所述馈入端磁场线包(11)、八极永磁体(13)和引出端磁场线包(14)之间均设置有凸起的支架，支架固定设置在磁场线包支架(21)上。
5.根据权利要求4所述的一种八极永磁体结构天线内置式RF离子源，其特征在于：所述八极永磁体(13)的单极扇形角为40°，相邻永磁体之间留有用于安装八极永磁体支架的缝隙，八极永磁体支架固定设置在磁场线包支架(21)上。
6.根据权利要求1所述的一种八极永磁体结构天线内置式RF离子源，其特征在于：所述放电腔体(23)尾端设置有密封槽，密封槽内放置有引出端真空封装“O”型密封圈(16)。
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