[实用新型]一种探针压接装置及点测机

说明书

本实用新型提供一种探针压接装置，包括升降机构和两组或两组以上的压接组件，所述升降机构包括升降板，所述压接组件均安装于所述升降板上，并在所述升降机构的驱动下升降运动进行压接；所述压接组件包括探针组件，所述探针组件通过伸缩件连接所述升降板，所述伸缩件沿Z向伸缩。本实用新型还提供了包括上述探针压接装置的点测机。本方案中的探针压接装置在一个升降机构上设置两组或两组以上的压接组件，利用伸缩件实现了人为选择性使用探针组件，提高了探针压接装置的适用性，便于操作，提高测试效率，节约成本。

技术领域

本实用新型属于半导体测试设备技术领域，特别是涉及一种探针压接装置及点测机。

背景技术

在半导体行业中，产品通常要经过数十道甚至上百道检测确认合格后才能出货。半导体的检测经常需要用到探针压接，与产品通信以进行产品外观、性能的检测，测试过程中，探针升降完成压接。由于产品的多样化，对不同产品测试时可能需要压接不同数量的探针，现有的探针压接装置兼容性差；同时随着科技的发展，半导体器件的体积越来越小，对探针压接的精度要求也越来越高。

因此有必要研究设计可选择使用探针数量并保证压接精度的探针压接治具及点测机。

实用新型内容

本实用新型提供一种探针压接装置及点测机，可根据需要选择需要数量、位置的探针进行压接，并保证探针压接位置精度及压接力的大小。

本实用新型的其他目的和优点可以从本实用新型所揭露的技术特征中得到进一步的了解。

为了达到上述部分或全部目的或是其他目的，本实用新型提供的探针压接装置，包括升降机构和两组或两组以上的压接组件，所述升降机构包括升降板，所述压接组件均安装于所述升降板上，并在所述升降机构的驱动下升降运动进行压接；所述压接组件包括探针组件，所述探针组件通过伸缩件连接所述升降板，所述伸缩件沿Z向伸缩。

工作时，压接组件在升降机构驱动下完成压接，当待测产品测试需要的探针压接数量小于压接组件的数量时，利用伸缩件将不需要的探针组件向上抬升，此时升降机构下降进行压接时，这部分探针组件则无法接触到产品或平台，从而达到调整压接探针组件数量的目的，这个过程中不需要对探针压接装置进行更换和拆卸，调节过程方便，提高了探针压接装置对不同产品的适用性，提高测试效率，节约成本。

所述探针组件包括探针头和纵向板，所述探针头通过横向设置的压力传感器连接于所述纵向板上，所述纵向板连接于安装板上，所述伸缩件的活动端连接所述安装板。利用压力传感器监测压接的实际压力，保证压接到位并防止压力过大损坏产品。

所述压接组件还包括Z向调节组件，所述Z向调节组件包括Z向千分头、第一支架和Z向复位件，所述第一支架位于所述探针组件上方，所述Z向千分头穿过所述第一支架与所述纵向板相抵，所述Z向复位件一端连接所述安装板，另一端连接所述纵向板，所述纵向板滑动连接于所述安装板上。由于具有两个或两个以上的压接组件，为了保证升降机构运动时各压接组件都能稳定压接，需要在初始时调节探针组件的高度，利用Z向千分头进行调节简单方便。

所述纵向板上设有导向槽，所述安装板上设有导向杆，转动所述Z向千分头时，所述导向杆在所述导向槽内移动，以避免纵向板在调节过程中歪斜，影响压接效果。

所述压接组件还包括Y向调节组件和X向调节组件，分别用于所述探针组件的Y向、X向位置调节；所述伸缩件连接所述X向调节组件的活动端，所述X向调节组件连接所述Y向调节组件的活动端，所述Y向调节组件通过底座连接所述升降板，利用Y向调节组件和X向调节组件保证探针压接的位置精度。

所述Y向调节组件包括Y向千分头、滑动配合的Y向滑轨与Y向滑块、第二支架和Y向复位件，所述Y向滑轨设于所述底座上，所述Y向千分头穿过所述第二支架与所述Y向滑块相抵，所述Y向复位件一端连接所述第二支架，另一端连接所述Y向滑块；所述X向调节组件安装于所述Y向滑块上。