[实用新型]一种晶圆切割面用的背面抛光装置

权利要求书

1.一种晶圆切割面用的背面抛光装置，包括加工台(1)，其特征在于：所述加工台(1)的顶端固定连接有放置块(2)，所述放置块(2)的顶端开设有放置槽(3)，所述放置块(2)的顶端开设有拿取槽(4)，所述加工台(1)的顶端固定连接有支撑板(5)，所述支撑板(5)的一侧固定连接有防护罩(6)，所述防护罩(6)的内底壁固定连接有第一电机(7)，所述第一电机(7)的输出端通过联轴器固定连接有第一旋转轴(8)，所述第一旋转轴(8)的顶端固定连接有第一锥形齿轮(9)，所述第一锥形齿轮(9)的一侧活动连接有第二锥形齿轮(10)，所述第二锥形齿轮(10)的一侧固定连接有螺纹杆(11)，所述螺纹杆(11)的一端固定连接有轴承(12)，所述螺纹杆(11)的外壁活动连接有连接块(13)，所述连接块(13)的顶端固定连接有连接杆(14)，所述连接杆(14)的顶端固定连接有限位环(15)，所述限位环(15)的内部活动连接有限位杆(16)；

所述连接块(13)的底端固定连接有液压推杆(17)，所述液压推杆(17)的输出端固定连接有防护箱(18)，所述防护箱(18)的内顶壁固定连接有第二电机(19)，所述第二电机(19)的输出端通过联轴器固定连接有第二旋转轴(20)，所述第二旋转轴(20)的底端固定连接有抛光块(21)，所述支撑板(5)的一侧固定连接有集尘箱(22)，所述集尘箱(22)的一侧固定连接有抽风机(23)，所述集尘箱(22)的一侧固定连接有吸尘罩(24)，所述抽风机(23)的外壁活动连接有限位罩(25)，所述限位罩(25)的内壁固定连接有防滑垫(26)，所述限位罩(25)的内部固定连接有防尘网(27)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割面用的背面抛光装置，其特征在于：所述放置块(2)的数量为三个，且三个放置块(2)等距离设置在加工台(1)的顶端。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆切割面用的背面抛光装置，其特征在于：所述支撑板(5)的数量为两个，且两个支撑板(5)以限位杆(16)的中垂线为对称轴对称设置。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆切割面用的背面抛光装置，其特征在于：所述支撑板(5)的一侧开设有轴承槽，且轴承槽的形状大小与轴承(12)的形状大小均相互匹配。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆切割面用的背面抛光装置，其特征在于：所述螺纹杆(11)贯穿连接块(13)的内部并延伸至连接块(13)的两侧，且螺纹杆(11)与连接块(13)活动连接。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆切割面用的背面抛光装置，其特征在于：所述限位环(15)的形状大小与限位杆(16)的形状大小均相互匹配，且连接块(13)通过限位环(15)与限位杆(16)活动连接。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆切割面用的背面抛光装置，其特征在于：所述第二旋转轴(20)贯穿防护箱(18)并延伸至防护箱(18)的底端，且第二旋转轴(20)与防护箱(18)活动连接。