[实用新型]一种用于质谱仪的废气排放装置

权利要求书

1.一种用于质谱仪的废气排放装置，其特征在于：包括缓冲箱和抽气泵，所述缓冲箱的进气口通过进气管连接质谱仪的排气口，所述缓冲箱的排气口通过排气管连接所述抽气泵；所述缓冲箱内沿气体流动方向依次设置有过滤层一和过滤层二，所述过滤层一为过滤棉层，所述过滤层二为活性碳层。

2.根据权利要求1所述用于质谱仪的废气排放装置，其特征在于：所述进气管上设置有连接控制器输入端的压力传感器，所述控制器的输出端连接所述抽气泵的输入端。

3.根据权利要求2所述用于质谱仪的废气排放装置，其特征在于：所述进气管上设置有连接控制器输出端的报警器。

4.根据权利要求1所述用于质谱仪的废气排放装置，其特征在于：所述过滤层一和过滤层二为框体板结构，所述框体板的两侧呈网状，所述框体板内填充有过滤棉或者活性碳，所述框体板的一端设置有可供填充料塞入的开口。

5.根据权利要求4所述用于质谱仪的废气排放装置，其特征在于：所述缓冲箱的一侧设置有密封箱门，所述缓冲箱内的顶面和底面分别设置有两个供所述过滤层一和过滤层二插入的平行的滑槽。

6.根据权利要求1所述用于质谱仪的废气排放装置，其特征在于：所述缓冲箱内平行设置有两个所述的过滤层一。