[实用新型]一种滑动蚀刻设备有效
| 申请号： | 202220611532.9 | 申请日： | 2022-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN217149008U | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 凌洁 | 申请（专利权）人： | 成都拓米智能系统技术有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 罗强 |
| 地址： | 610000 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 滑动 蚀刻 设备 | ||
1.一种滑动蚀刻设备，其特征在于，包括圆筒状蚀刻仓(1)、一个或至少两个蚀刻喷淋板(2)以及蚀刻篮具(3)，所述圆筒状蚀刻仓(1)内壁设有以圆筒状蚀刻仓(1)中心为圆心的环形蚀刻板滑行轨道(4)，蚀刻篮具(3)安装在圆筒状蚀刻仓(1)中心位置，用于装载需要蚀刻的玻璃基板；所述一个或至少两个蚀刻喷淋板(2)安装在环形蚀刻板滑行轨道(4)，沿轨道滑行；所述蚀刻喷淋板(2)表面设有若干个蚀刻喷头(5)，用于喷淋蚀刻液至蚀刻篮具(3)。
2.根据权利要求1所述的滑动蚀刻设备，其特征在于，蚀刻喷淋板(2)通过电动滑行滚轮安装在环形蚀刻板滑行轨道(4)内。
3.根据权利要求1或2所述的滑动蚀刻设备，其特征在于，所述圆筒状蚀刻仓(1)底部设有废液回收孔。
4.根据权利要求1或2所述的滑动蚀刻设备，其特征在于，所述环形蚀刻板滑行轨道(4)内布置有蚀刻液管道，用于输送蚀刻液；所述蚀刻液管道与蚀刻喷淋板(2)连接，并通过蚀刻喷淋板(2)上的蚀刻喷头(5)喷淋蚀刻液。
5.根据权利要求4所述的滑动蚀刻设备，其特征在于，所述蚀刻喷淋板(2)由电动滑行滚轮控制在蚀刻板滑行轨道(4)上围绕蚀刻篮具(3)180°或360°公转滑行蚀刻。
6.根据权利要求1所述的滑动蚀刻设备，其特征在于，所述蚀刻篮具(3)上设有多个夹具，通过夹具装载固定多个玻璃基板。
7.根据权利要求4所述的滑动蚀刻设备，其特征在于，所述蚀刻喷头(5)等间隔分布在蚀刻喷淋板(2)表面的四周。
8.根据权利要求1所述的滑动蚀刻设备，其特征在于，所述蚀刻喷淋板(2)、环形蚀刻板滑行轨道(4)、蚀刻篮具(3)、蚀刻喷头(5)以及滑行滚轮均采用防酸材质制成。
9.根据权利要求6所述的滑动蚀刻设备，其特征在于，所述蚀刻篮具(3)中，相邻玻璃基板之间间隔5CM。
10.根据权利要求6或9所述的滑动蚀刻设备，其特征在于，所述蚀刻篮具(3)为矩形体形篮具。
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