[实用新型]一种光路调节机构及应用其的光谱共焦检测系统

说明书

本实用新型公开一种光路调节机构及应用其的光谱共焦检测系统。光路调节机构包括：固定座，用于与预设的安装底板固定连接；活动安装板，设置有光波导安装部以用于固定安装光波导，其中，活动安装板位置可调节地安装于固定座，通过调整活动安装板在固定座上的安装位置，以对光波导安装部中安装的光波导正对的位置及方向进行调节。通过上述方案可以降低光谱共焦检测系统中光线的位置调节难度。

技术领域

本实用新型涉及共聚焦显微成像设备领域，尤其涉及一种光路调节机构及应用其的光谱共焦检测系统。

背景技术

光谱共焦技术是一种基于轴向色差和色彩编码技术的光学检测方法，将传感器发射端发出的复色光色散为波长连续的光谱，通过色彩编码，将波长准确映射到被测物，通过测量反射光的波长，建立传感器距离与波长间的对应关系，获取被测物的位置信息。用于测量物体的厚度、平面度、微观形貌、微小瑕疵、翘曲度等，解决3D轮廓精密测量问题，满足半导体、3D玻璃、点胶、精密零部件等测量和检测需求。

现有的光谱共焦检测设备通常包括侦测光光纤、分光镜、激发光光纤、色散物镜以及光谱仪；侦测光光纤的出光端朝向分光镜设置，且侦测光光纤传输的侦测光可以经过进入色散物镜中，色散物镜可以对侦测光进行轴向色散后投射至待检测物上，待检测物反射经向色散后的侦测光，且沿自色散物镜、分光镜、激发光光纤以及光谱仪的传输光路而传输至光谱仪中进行检测。

然而，现有的光谱共焦检测系统中，侦测光光纤、分光镜以及激发光光纤的位置通常设置为固定的，且在安装调试过程中很难保证侦测光光纤、激发光光纤相对于分光镜的对位精度。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提出一种路调节机构及应用其的光谱共焦检测系统，旨在解决在现有的光谱共焦检测系统在安装调试过程中很难保证侦测光光纤、激发光光纤相对于分光镜的对位精度的问题。

为实现上述目的，本实用新型提出的一种光路调节机构，包括：

固定座，用于与预设的安装底板固定连接；

活动安装板，设置有光波导安装部以用于固定安装光波导，其中，所述活动安装板位置可调节地安装于所述固定座，通过调整所述活动安装板在所述固定座上的安装位置，以对所述光波导安装部中安装的光波导正对的位置及方向进行调节。

可选地，所述光波导安装部中安装的光波导朝向预设的分光镜设置，以用于将光线传导至所述分光镜，或者接收来自所述分光镜的光；

其中，所述活动安装板位置可调节地安装于所述固定座，通过调整所述活动安装板在所述固定座上的安装位置，以对所述光波导安装部中安装的光波导正对所述分光镜的位置及角度进行调节。

可选地，还包括调节机构；

所述调节机构安装于所述固定座，所述调节机构包括调节螺杆和弹性件，所述调节螺杆一端贯穿所述固定座后与所述活动安装板螺接，所述弹性件设置在所述固定座和所述活动安装板之间，且所述弹性件的相对两端分别连接和/或抵接所述固定座和所述活动安装板。

可选地，所述调节机构的数量为多个，多个所述调节机构中的所述调节螺杆分别与所述活动安装板的不同位置螺接。

可选地，所述弹性件为弹簧，所述弹簧套设于所述调节螺杆。

可选地，所述调节机构还包括抵顶螺杆，所述抵顶螺杆与所述固定座螺接，且所述抵顶螺杆的一端贯穿所述固定座后抵接于所述活动安装板。

可选地，所述固定座包括固定板和连接侧板，所述连接侧板固定安装于所述固定板的一侧，且所述固定板和所述连接侧板分别正对所述活动安装板的不同侧边；

其中，所述调节机构的数量为多个，且所述固定板和所述连接侧板上均设置有至少一所述调节机构，所述固定板和所述连接侧板上的所述调节机构中的调节螺杆分别贯穿所述固定板和所述连接侧板后与所述活动安装板的不同侧边螺接。