[实用新型]一种大功率射频谐振发生装置

权利要求书

1.一种大功率射频谐振发生装置，其特征在于，包括：射频谐振腔体(10)、射频处理腔体(20)、谐振变压器二次侧电感(122)、谐振变压器一次侧电感(123)；所述的谐振变压器二次侧电感(122)和谐振变压器一次侧电感(123)构成谐振变压器；所述的射频谐振腔体(10)的输出端与谐振变压器的一次侧连接，所述的射频处理腔体(20)的输入端与谐振变压器的二次侧连接。

2.根据权利要求1所述的一种大功率射频谐振发生装置，其特征在于，所述的谐振变压器二次侧电感(122)为半匝电感，所述的谐振变压器一次侧电感(123)为整匝电感。

3.根据权利要求1所述的一种大功率射频谐振发生装置，其特征在于，所述的射频谐振腔体(10)包括：栅极空气电容(106)、陶瓷绝缘座(115)、机壳底板(128)、第一固定横梁(131)、第二固定横梁(132)；四个所述的陶瓷绝缘座(115)分别固定安装在机壳底板(128)的四角上，所述的第一固定横梁(131)的两端沿着x轴方向固定在两个陶瓷绝缘座(115)之间，第二固定横梁(132)的两端沿着x轴方向固定在另外两个陶瓷绝缘座(115)之间；所述的栅极空气电容(106)固定在第一固定横梁(131)、第二固定横梁(132)之间。

4.根据权利要求3所述的一种大功率射频谐振发生装置，其特征在于，所述的栅极空气电容(106)包括：多个第一极板(1061)、多个第二极板(1062)、侧壁铝板(1063)、顶部铝板(1064)、底部铝板(1065)；多个第一极板(1061)与多个第二极板(1062)之间交错平行设置，多个所述的第一极板(1061)的顶端与顶部铝板(1064)固定连接、第一极板(1061)的底端与底部铝板(1065)固定连接，多个所述的第二极板(1062)的侧面与侧壁铝板(1063)固定连接，第二极板(1062)的顶端、底端不与顶部铝板(1064)、底部铝板(1065)接触；所述的栅极空气电容(106)的底部铝板固定在第一固定横梁(131)、第二固定横梁(132)之间。