[实用新型]一种红外宽波段可调谐泰曼-格林干涉仪

说明书

本实用新型提供了一种红外宽波段可调谐泰曼‑格林干涉仪，涉及干涉仪技术领域，能够利用其参考臂长度可调的优势，弥补可调谐激光光源相干性不足的缺陷，从而实现了从近红外直到12μm的宽波段干涉测量；该干涉仪的红外可调谐激光光源、合束镜、聚焦镜组、针孔光阑、准直镜组、测试适配镜组和标准平面镜依次光路连接；待测光学器件设置在测试适配镜组和标准平面镜之间的光路上；准直镜组和所述测试适配镜组之间的光路上设有分束镜；参考标准平面镜设置在精密平移台上且和会聚镜组分设在所述分束镜的上下两方，且分束镜在参考标准平面镜和会聚镜组之间的光路上；测试时，红外探测器与会聚镜组光路连接；红外探测器与上位机电性连接。

技术领域

本实用新型涉及干涉仪技术领域，尤其涉及一种红外宽波段可调谐泰曼-格林干涉仪。

背景技术

目前市场上主流干涉仪产品均采用相干性较好的窄线宽激光器做为光源。例如在可见光波段通常采用的是0.633μm的He-Ne激光器，在红外波段通常采用的是3.39μm和10.6μm的激光器。这些干涉仪的特点是波长不能改变或者只能进行有限范围的调整，因此只能局限在有限的几个激光波长进行测量。

然而有些测量与波长紧密相关，例如介质折射率是波长的函数，显然利用单一波长的测量结果，不能代表其它波长的折射率值。再如滤光片或滤光器的透过波前测量，如果被测器件或仪器不能透过干涉仪的激光谱段，那么将无法使用干涉仪进行测量。此外，透射式的光学系统存在色差。针对某些特定波段优化的系统，用其他波长的干涉仪检测不能得到准确结果（例如针对8μm优化的成像系统，在10.6μm表现出的性能不同）。诸如此类的情况，显然波长可调谐的干涉仪更能发挥作用。

尤其在红外波段上述测量局限性更为突出。红外波段覆盖了0.76~1000μm波段，比可见光波段宽得多。仅靠目前有限的几条激光谱线的红外干涉仪显然很难满足如此宽泛波段的检测需求。

近年来，随着可调谐激光技术的发展，目前红外可调谐光源已经可以实现从近红外直到12μm的波段内连续可调谐。相比通常的连续谱光源，可调谐激光器的辐射强度较高，相干性更好，非常适于用作干涉仪的宽波段红外光源，进行干涉检测。但可调谐激光器输出的激光带宽较宽，相干长度不足是其最大的弱点。

因此，有必要研究一种红外宽波段可调谐泰曼-格林干涉仪来应对现有技术的不足，以解决或减轻上述一个或多个问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种红外宽波段可调谐泰曼-格林干涉仪，利用其参考臂长度可调的优势，弥补可调谐激光光源相干性不足的缺陷，从而实现了从近红外直到12μm的宽波段干涉测量。

本实用新型提供一种红外宽波段可调谐泰曼-格林干涉仪，所述干涉仪包括：红外可调谐激光光源、合束镜、聚焦镜组、针孔光阑、准直镜组、分束镜、会聚镜组、红外探测器、测试适配镜组、标准平面镜、参考标准平面镜和上位机；

所述红外可调谐激光光源、所述合束镜、所述聚焦镜组、所述针孔光阑、所述准直镜组、所述测试适配镜组和所述标准平面镜依次光路连接；待测光学器件设置在所述测试适配镜组和所述标准平面镜之间的光路上；所述参考标准平面镜设置在精密平移台上；

所述准直镜组和所述测试适配镜组之间的光路上设有所述分束镜；所述参考标准平面镜和所述会聚镜组分设在所述分束镜的上下两方，且所述分束镜在所述参考标准平面镜和所述会聚镜组之间的光路上；

测试时，所述红外探测器与所述会聚镜组光路连接；所述红外探测器与所述上位机电性连接。

如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述针孔光阑为设有制冷系统的针孔光阑。

如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述聚焦镜组、所述准直镜组和所述会聚镜组均为离轴反射式光学器件。