[实用新型]一种单晶炉导气管防护罩体

说明书

本实用新型提供一种单晶炉导气管防护罩体，可置于导气管顶部，罩体至少包括在所述导气管的部分顶部配设的盖面，所述盖面靠近加热器一侧具有反射层，能够在拉晶制程中阻止所述导气管受反冲气流冲击时使所述导气管与底部加热器隔离，并同时使从加热器中的电磁波朝所述导气管方向发出的光线反射回热场中，以降低热场热量损失。本实用新型在导气管顶部放置一防护罩体，不仅可阻止导气管被反冲气流冲击，避免出现底部加热器电极打火；而且还可对所有从加热器中向下传递的热辐射光线反射回热场，以阻止加热器向外扩散的热量传播，进而可降低热场的热量损失和功率消耗，从而提高热场保温效果。

技术领域

本实用新型属于单晶炉热场保温技术领域，尤其是涉及一种单晶炉导气管防护罩体。

背景技术

现有直拉单晶生长制程中，炉体内的废气和杂质随惰性气体从炉底中的导气管排出，但因导气管很容易被反冲气流回吹，并使导气管接触到单晶炉炉底的底部加热器时，会出现电极打火，造成导气管出现凹坑或黑点，亦会引起炉底加热器无法通电，热场工作失效，进而直接导致炉内硅料焖埚。还有，现有主加热器发射的电磁波直接由上而下直接辐射到导气管位置下方的低温区，热量随惰性气体流失严重；同时，在导气管中的排出气流与反冲气流相向对流时，使得炉底处的温度更低，会使更多炉内高温热量流传至低温区，导致炉内热场功耗较大，热量散失严重。

实用新型内容

本实用新型提供一种单晶炉导气管防护罩体，解决了现有技术中由于主加热器的温度直接传递至导气管上而导致热场温度损失严重且功耗大的技术问题。

为解决至少一个上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：

一种单晶炉导气管防护罩体，可置于导气管顶部，罩体至少包括在所述导气管的部分顶部配设的盖面，所述盖面靠近加热器一侧具有反射层，能够在拉晶制程中阻止所述导气管受反冲气流冲击时使所述导气管与底部加热器隔离，并同时使从加热器中的电磁波朝所述导气管方向发出的光线反射回热场中，以降低热场热量损失。

进一步的，所述导气管顶部被所述盖面全覆盖且紧贴所述盖面的内壁设置。

进一步的，所述罩体还包括与所述盖面一体设置的壁面，所述壁面套设于所述导气管直壁段设置。

进一步的，所述壁面高度不大于所述导气管中排气孔的位置高度。

进一步的，所述壁面高度大于所述导气管中排气孔的位置高度。

进一步的，在所述壁面上还设有与所述导气管中排气孔叠放设置的通孔，且所述通孔的数量与所述排气孔数量相同。

进一步的，每个所述通孔面积不小于与其配合的所述排气孔的面积。

进一步的，所述盖面与所述壁面的连接处为弧面结构或直角结构。

进一步的，所述盖面与所述壁面厚度相同。

进一步的，所述罩体为钼制金属制成的结构。

本实用新型在导气管顶部放置一防护罩体，不仅可阻止导气管被反冲气流冲击，避免出现底部加热器电极打火；而且还可对所有从加热器中的电磁波朝导气管方向发出的热辐射光线反射回热场，以阻止加热器向外扩散的热量传播，进而可降低热场的热量损失和功率消耗，从而提高热场保温效果。

附图说明

图1是本实用新型中实施例一的一种单晶炉导气管防护罩体的结构图；

图2是本实用新型实施例一中A部放大图；

图3是本实用新型实施例一中的另一种防护罩体的结构示意图；

图4是本实用新型中实施例二的导气管的防护罩体的结构图；

图5是本实用新型实施例二中的另一种防护罩体的结构示意图。

图中：