[实用新型]一种太赫兹波可调谐波导型窄带滤波器

权利要求书

1.一种太赫兹波可调谐波导型窄带滤波器，其特征在于，其包括一个具有矩形结构的空腔，空腔的上表面和下表面为周期凹槽结构的低损耗金属表面，其中间包含一楔形突起区域，两侧壁为平面。

2.根据权利要求1所述的太赫兹波可调谐波导型窄带滤波器，其特征在于，太赫兹可调谐波导型窄带滤波器中波导周期个数、上金属平板和下金属平板之间间距、对称结构倾斜角度和周期大小均可根据实际应用场景改变。

3.根据权利要求2所述的太赫兹波可调谐波导型窄带滤波器，其特征在于，通过改变波导周期个数和周期大小来改变滤波器的滤波带宽以及透射率；通过调整滤波器横向位置来改变其中心频率从而实现太赫兹信号的可调谐窄带滤波。

4.根据权利要求2所述的太赫兹波可调谐波导型窄带滤波器，其特征在于，滤波线宽为0.001THz，透过率高于97％。

5.根据权利要求2所述的太赫兹波可调谐波导型窄带滤波器，其特征在于，矩形结构的空腔的上表面和下表面均为带有楔形凸起并且关于中心对称的具有一定倾角的周期凹槽结构，周期结构参数可根据实际工作频段进行设计，楔形凸起的倾角大小可根据调谐精度进行选择。

6.根据权利要求5所述的太赫兹波可调谐波导型窄带滤波器，其特征在于，楔形凸起的倾角为2度～5度。

7.根据权利要求2所述的太赫兹波可调谐波导型窄带滤波器，其特征在于，矩形结构的空腔的上表面和下表面的材料为太赫兹频段的低损耗金属材料，矩形结构的空腔通过在非金属材料上进行光刻加工，然后通过金属镀膜来实现。

8.根据权利要求7所述的太赫兹波可调谐波导型窄带滤波器，其特征在于，所述非金属材料为亚克力、玻璃或硅片。

9.根据权利要求7所述的太赫兹波可调谐波导型窄带滤波器，其特征在于，所述金属为金或银。

10.根据权利要求7所述的太赫兹波可调谐波导型窄带滤波器，其特征在于，镀膜的膜厚大于100nm。