[实用新型]一种带定位控制的磁性液体旋转密封装置

说明书

一种带定位控制的磁性液体旋转密封装置，适用于有定位需求的真空腔室旋转密封。该装置包括：电源(1)，控制面板(2)，PLC控制器(3)，驱动器(4)，端盖(5)，外壳(6)，磁栅(7)，磁珠(8)，定子线圈(9)，转子线圈(10)，磁性液体密封单元(11)，转轴(12)。通过控制面板(2)进行程序设定，将设定好的程序发送给PLC控制器(3)，PLC控制器(3)利用驱动器(4)控制定子线圈(9)和转子线圈(10)中的电流大小和频率，进而控制转轴(12)转动的角加速度、角速度和角位移，全程通过磁栅(7)反馈给PLC控制器(3)的反馈信号进行实时调整，实现了全自动化的镀膜作业。

技术领域

本实用新型属于旋转密封领域，适用于有定位需求的真空腔室旋转密封。

背景技术

目前真空镀膜行业正向着全流程自动化方向发展，这就要求真空镀膜设备和机械手臂之间完美配合，才能保证镀膜作业过程和镀膜完成后上下工件的作业过程实现自动化。

目前传统的真空镀膜设备在镀膜作业过程中，通过步进电机带动真空腔内的工件支撑架转动，并依靠磁性液体密封实现转动部位的旋转密封，镀膜完成后上下工件的作业过程通过人工控制步进电机转动一定角度后手动完成上下工件，整体效率较低，操作过程存在一定的安全隐患。由此可见，设计一种带定位控制的磁性液体旋转密封装置对镀膜设备实现全流程自动化作业十分必要。

发明内容

本实用新型需要解决的技术问题：现有的磁性液体旋转密封装置无法实现定位控制的问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种带定位控制的磁性液体旋转密封装置，该装置包括：电源，控制面板，PLC控制器，驱动器，端盖，外壳，磁栅，磁珠，定子线圈，转子线圈，磁性液体密封单元，转轴。

该装置各部分之间的连接：

电源与控制面板相连，控制面板连接PLC控制器，PLC控制器连接驱动器，驱动器通过端盖上的孔与定子线圈和转子线圈相连，磁栅固定在端盖上，并通过端盖上的孔与PLC控制器相连，定子线圈与外壳固定，转子线圈与转轴固定，磁性液体密封单元固定在外壳的真空腔一侧，磁珠固定在转轴的端部，与磁栅相对安装。

电源用于控制面板、PLC控制器、驱动器、磁栅、定子线圈和转子线圈的供电，外壳与真空腔的腔体固定，通过控制面板进行程序设定，将设定好的程序发送给PLC控制器，PLC控制器利用驱动器控制定子线圈和转子线圈中的电流大小和频率，定子线圈始终与外壳保持相对静止，转子线圈带动转轴做旋转运动，转轴可做整周转动，也可做固定角度的转动，磁珠与转轴同步转动，磁珠的转动使得磁栅处的磁场发生变化，磁栅将磁场的变化反馈给PLC控制器，进而得到转轴转动的角加速度、角速度和角位移，PLC控制器通过反馈信息控制驱动器的下一步动作。

本实用新型的有益效果：

该装置一方面能够保证镀膜过程镀膜蒸汽的零泄漏，另一方面与机械手配合，保证了镀膜作业过程和镀膜完成后上下工件作业过程的全程自动化，转子线圈与转轴直接相连，极大提高了装置的旋转和定位精度。

附图说明

图1一种带定位控制的磁性液体旋转密封装置。

图中：电源1，控制面板2，PLC控制器3，驱动器4，端盖5，外壳6，磁栅7，磁珠8，定子线圈9，转子线圈10，磁性液体密封单元11，转轴12。

具体实施方式

以附图1为具体实施方式对本实用新型作进一步说明：

一种带定位控制的磁性液体旋转密封装置，该装置包括：电源1，控制面板2，PLC控制器3，驱动器4，端盖5，外壳6，磁栅7，磁珠8，定子线圈9，转子线圈10，磁性液体密封单元11，转轴12。

该装置各部分之间的连接：