[实用新型]一种快速更换滤芯式过滤器装置

说明书

本实用新型提供一种快速更换滤芯式过滤器装置，包括由壳体、进风端法兰口、出风端法兰口、快开面板、滤芯导向滚珠导轨、进风取样口、出风取样口、及滤芯等结构，所述壳体为偏心长方体上下通透结构，所述壳体上、下法兰为通用适配。本实用新型装置结构简单、实用性强，可以实现对集成电路芯片制造超净厂房中，MAU(新风机组)新风管进风过滤器滤芯的不停机快速更换。

技术领域

本实用新型涉及一种新型空气过滤器结构，尤其涉及一种用于集成电路芯片制造超净厂房MAU(新风机组)新风管进风过滤器滤芯的快速更换结构。

背景技术

集成电路制造过程中，超净厂房内的生产设备需要在恒温、恒湿、超净的环境中运行，对空气中微小固态颗粒物(Particle)、气体性分子污染物(AMC)的含量要求极其严苛，所以超净厂房均采用密封式结构，厂房内的空气必须经过数级过滤器的处理，以使Particle和AMC的含量在规范之内。但是为了保持超净厂房内工作人员的身体健康，仍需要送入一定百分比的新鲜空气(新风)，来自超净厂房之外的新鲜空气(外气)中含有各种杂质，主要有F^-、Cl^-、 NO₂、NO₃、H₂S、VOC(挥发性有机物)、及固态颗粒物等，为使最终送入生产设备的新风符合要求，必须对外气进行预过滤处理，保证进入MAU(新风机组)进风口的Particle及AMC含量初步降到一定值以下，才能确保MAU能够采用水洗、另加物理及化学过滤的方式进一步处理剩余的Particle及AMC，同时还必须保持超净厂房的空气为正压、以及温湿度在标准范围之内。总之，只有保持生产工艺设备具有稳定运行的环境，才能最终确保生产出的芯片有符合要求的良品率。

目前超净厂房MAU新风口在更换进风口过滤器时，都必须停机后启动备用机来实现，这样才能保持超净厂房的新风量正压与温湿度恒定。但这种更换方式会因为在切换过程之中，可能发生各种无法估计的不确定因素，最后导致生产工艺设备工作异常，因此需要对现有技术进行有效创新。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种可快速更换滤芯的过滤器装置，该装置结构简单、更换操作简便，可以快速实现新风口过滤滤芯的无压损更换，提高无尘室新风机组使用的稳定性、可靠性和安全性。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种快速更换滤芯式过滤器装置，由壳体、进风端法兰口、出风端法兰口、快开面板、滤芯导向滚珠导轨、进风取样口、出风取样口、及滤芯构成。所述壳体为偏心长方体上下通透结构，壳体上端面分别设置进风端法兰口和进风取样口，壳体下端面分别设置出风端法兰口和出风取样口。通过进风取样口和出风取样口实现快速连接、无压损取样。分别在壳体左侧壁和右侧壁固定有快开面板，在壳体中部设置可使滤芯在其上滑动的滤芯导向滚珠导轨，右侧壁快开面板开启放入滤芯，滤芯滑出关闭左侧壁快开面板。

所述快速更换滤芯式过滤器装置配套集成电路芯片制造的超净厂房空调系统补风口风管使用，取代现有技术中需要停机后再拆装滤芯的工序，实现无需停机、保持稳压、快速插拔式更换滤芯。

进一步的，所述进风端法兰口和出风端法兰口均为可以匹配风管的通用适配法兰。

进一步的，所述快开面板用弹簧铰链固定在壳体侧壁，快开面板在扭力弹簧的作用下紧贴壳体侧壁，可保持壳体对内部的密封性，也即可维持壳体内部的正压状态。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型装置提供的快速更换滤芯式过滤器装置可配套集成电路芯片制造的超净厂房空调系统补风口风管使用，结构简单、实用性强，装置的安装和与厂房内风管系统的连接不需要焊接，全部可采用标准尺寸的可拆卸机械连接方式。滤芯类型的选择范围广泛，比如化学式或滤尘式均可适用。更换滤芯时，采用新滤芯推出旧滤芯的方式完成更换，超净厂房空调新风机组无需停机；更换的整个过程中无压降，可确保新风进风稳定。

附图说明