[实用新型]一种可负压辅助的卷对卷精密辊压制造装置

说明书

本实用新型公开一种可负压辅助的卷对卷精密辊压制造装置，包括金属机壳，金属机壳内开设有真空腔，真空腔底部固定安装有卷对卷平板，卷对卷平板上依次固定安装有放卷机构、辊压机构以及覆膜收卷机构，放卷机构一侧安装有辊前清洁机构，辊压机构一侧安装有输料部，辊前清洁机构、输料部均与卷对卷平板固定连接，放卷机构、辊前清洁机构、输料部、辊压机构以及覆膜收卷机构内安装有导向组件。本实用新型提供了一个面向工业化的多功能集成平台，以真空负压为辅助，充分固化后脱模作为保障手段，重组和整合了现有的卷对卷压印机械结构，压印效果好。

技术领域

本实用新型涉及卷对卷纳米压印技术领域，特别是涉及一种可负压辅助的卷对卷精密辊压制造装置。

背景技术

经济与科技领域的快速发展使得人们对微细结构的使用越来越广泛，同时对微结构表面的精度要求越来越高，在现有的微纳米结构制造过程中，针对复杂表面形貌(以末端膨大为典型)的微结构缺乏高效、工程化的制造技术，现有模具形式很难一次性成型制作出复杂结构的黏附材料，使其应用于辊压设备上受到很大的限制。而目前卷对卷压印工艺的研究中，虽然在制作工艺流程和运行机理上已经得到验证，并且进行不断创新和商业化生产的实际使用，但是在改善压印流程中填充、固化、脱模遇到的实际问题，设计优化多模块辊压机机械结构，以及提高压印设备对不同微观形貌的适用度和压印效率这些问题上，仍等待进一步的提出解决方案。尤其是对于一些以末端膨大为类型复杂形貌的微观结构，现在仍没有一种系统化、模块化的滚型辊压平台可以实现良好的复制压印。

CN214409580U公开了一种可控制纳米压印胶层厚度的纳米压印设备，该可控制纳米压印胶层厚度的纳米压印设备设计合理，厚度控制单元控制晶圆和PET或者工作模具与基片的距离，可控制压印最终胶层的厚度并保证整片胶层厚度的均匀性，解决了因为旋涂无法填充较深的纳米结构的问题，但是该设备效率较低，不能连续制造，且没有真空环境辅助，无法解决压印过程中气泡的问题，仍需多次试验改进。CN110744754A公开了一种双模组多功能卷对卷微纳压印系统，其设计中具有单/双面的热压印滚轮、单/双面的紫外压印滚轮等，可以通过各个模组的切换，并采用梯度液压系统为压印过程提供不同力度的施压，实现对不同种类微结构预聚胶体正面或正反双面的压印，但其流程设计过于简单，未涉及到具体制备样机，难以应用于实际生产。为了解决这些问题，提出一种以真空负压为辅助的热塑、热固、光固集成的卷对卷纳米压印设备。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种可负压辅助的卷对卷精密辊压制造装置，以解决上述现有技术存在的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下方案：本实用新型提供一种可负压辅助的卷对卷精密辊压制造装置，包括金属机壳，所述金属机壳内开设有真空腔，所述真空腔底部固定安装有卷对卷平板，所述卷对卷平板上依次固定安装有放卷机构、辊压机构以及覆膜收卷机构，所述放卷机构一侧安装有辊前清洁机构，所述辊压机构一侧安装有输料部，所述辊前清洁机构、输料部均与所述卷对卷平板固定连接，所述放卷机构、辊前清洁机构、输料部、辊压机构以及覆膜收卷机构内安装有导向组件。

优选的，所述放卷机构包括放卷立板，所述放卷立板上转动连接有放卷筒，所述放卷立板底端固定连接有放卷底板，所述放卷底板与所述卷对卷平板滑动连接，所述卷对卷平板上固定连接有纠偏电机，所述纠偏电机带动所述放卷底板在所述卷对卷平板上滑动，所述放卷立板上固定连接有放卷静电消除器以及纠偏传感器，所述放卷静电消除器位于所述放卷筒周侧。

优选的，所述辊前清洁机构包括清洁立板，所述清洁立板上转动连接有两个粘尘辊，所述粘尘辊一侧安装有粘尘卷纸，所述清洁立板上固定连接有控制所述粘尘卷纸与粘尘辊之间压力的调压部，所述清洁立板上固定连接有放卷张力感知器